[发明专利]一种激光头除尘装置、激光器有效
申请号: | 201810606223.0 | 申请日: | 2018-06-13 |
公开(公告)号: | CN108890125B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 刘宏茂 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/142 | 分类号: | B23K26/142 |
代理公司: | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人: | 孙威;潘中毅 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光头 除尘 装置 激光器 | ||
1.一种激光头除尘装置,其特征在于,包括:
激光束出口腔,所述激光束出口腔的一侧具有激光束发射口;
设在所述激光束出口腔外侧的负压腔,所述负压腔具有和所述激光束发射口相连通的负压腔连通口,所述激光束出口腔和所述负压腔之间具有第一隔挡壁;
设在所述负压腔外侧的压缩空气进气通道,所述压缩空气进气通道和所述负压腔连通口相连通,所述压缩空气进气通道和所述负压腔之间具有第二隔挡壁;其中:
所述第一隔挡壁具有自所述激光束发射口向所述负压腔平滑过渡的第一端头,所述第一端头为曲面;所述第二隔挡壁具有自所述负压腔向所述压缩空气进气通道平滑过渡的第二端头,所述第二端头为曲面。
2.如权利要求1所述的激光头除尘装置,其特征在于,所述压缩空气进气通道通入压缩气体并由所述负压腔排出,所述第一端头处产生自所述激光束发射口向所述负压腔进行流动的气体流场,所述第二端头处产生自所述压缩空气进气通道向所述负压腔进行流动的气体流场,用以将激光束产生的灰尘吸走。
3.如权利要求1所述的激光头除尘装置,其特征在于,还包括:与所述负压腔相连通的负压头,其中:所述负压腔为环腔结构。
4.如权利要求3所述的激光头除尘装置,其特征在于,所述负压腔的腔体自所述负压腔连通口的一端向其相对的另一端渐缩收窄。
5.如权利要求1所述的激光头除尘装置,其特征在于,还包括:与所述压缩空气进气通道相连通的多个压缩空气进口,其中:所述压缩空气进气通道呈环状。
6.如权利要求5所述的激光头除尘装置,其特征在于,所述多个压缩空气进口等距均匀排布。
7.如权利要求3或4所述的激光头除尘装置,其特征在于,还包括:与所述压缩空气进气通道相连通的多个压缩空气进口,其中:所述压缩空气进气通道呈环状。
8.如权利要求7所述的激光头除尘装置,其特征在于,所述压缩空气进口和所述负压头的中空腔体分别呈圆柱形,所述压缩空气进口的中心轴线和所述负压头的中心轴线平行。
9.如权利要求1所述的激光头除尘装置,其特征在于,所述激光束发射口呈漏斗形。
10.一种激光器,其特征在于,所述激光器包括如权利要求1-9任一项所述的激光头除尘装置。
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