[发明专利]真空阀

权利要求书

1.一种真空阀，其特征在于，具备：

壳体，其具有开口；

阀板，其能够覆盖所述开口；

驱动源；

环状的旋转体，其具备外壁、内壁、连结所述外壁与所述内壁的底壁、形成于所述底壁的弯曲长孔及固定于所述内壁及所述外壁中的至少一个的升降销，并且所述环状的旋转体通过来自所述驱动源的驱动力而进行旋转；

棒状的支承部件，其配置于所述旋转体的所述外壁与所述内壁之间，并且具备贯穿所述底壁的所述弯曲长孔并固定于所述壳体的第1端部及沿旋转轴方向支承所述旋转体的宽径部；

环状的升降体，其支承密封环，并且配置于所述旋转体的所述外壁与所述内壁之间，所述环状的升降体具有供所述旋转体的所述升降销插入的倾斜长孔，所述升降销随着所述旋转体的旋转在所述倾斜长孔内移动，使得所述环状的升降体与所述密封环一同相对于所述旋转体而沿所述旋转轴方向升降；及

第1滑动部件，其配置于所述旋转体的所述底壁与所述支承部件的所述宽径部之间。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

所述第1滑动部件包括第1滑动用滚珠，所述旋转体还具有用于保持所述第1滑动用滚珠的沟槽。

3.根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

所述支承部件还具备配置于所述旋转体的所述底壁与所述支承部件的所述宽径部之间的环形板，

所述环形板具有用于保持所述第1滑动用滚珠的板槽。

4.根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

所述沟槽包括：第1沟槽，其形成于所述旋转体的所述外壁侧；及第2沟槽，其形成于所述旋转体的所述内壁侧。

5.根据权利要求4所述的真空阀，其特征在于，

所述板槽包括：第1板槽，其与所述旋转体的所述第1沟槽对置；及第2板槽，其与所述旋转体的所述第2沟槽对置。

6.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

所述阀板构成为，能够在覆盖所述开口部的关闭位置与开放所述开口部的打开位置之间进行摆动，

所述密封环构成为，在所述阀板位于所述关闭位置时能够移动从而与所述阀板接触。

7.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

所述壳体在所述旋转体的所述底壁与所述壳体之间具备第2滑动部件。

8.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，

所述升降体还具备供所述支承部件的第2端部插入的滑孔，所述升降体相对于所述旋转体沿着所述支承部件进行升降。

9.根据权利要求8所述的真空阀，其特征在于，

在所述支承部件的所述第2端部的外周面与所述滑孔的内周面之间具备第3滑动部件。