[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，具备：

扫描头，其具有用于反射激光束的至少两个检流计镜和分别使所述检流计镜旋转驱动的检流计电动机，并且能够针对工件扫描激光束；

移动单元，其使所述扫描头相对于所述工件移动；

移动控制装置，其通过控制所述移动单元使所述扫描头沿指示的加工路径移动；以及

扫描器控制装置，其具有检流计电动机控制部，所述检流计电动机控制部控制所述检流计电动机的旋转驱动角度，以使从所述扫描头针对所述工件沿与所述扫描头的移动方向交叉的方向扫描激光束，

其中，所述移动控制装置具有旋转角度检测部，该旋转角度检测部检测相对于所述扫描头的移动方向而言的所述扫描头的旋转角度，

所述扫描器控制装置具有镜角度计算部，所述镜角度计算部接受由所述旋转角度检测部检测出的所述扫描头的旋转角度的数据，根据所述旋转角度的数据计算使得激光束与所述扫描头的移动方向交叉的方向成为规定的方向的、所述检流计镜的旋转驱动角度，

所述扫描器控制装置的所述检流计电动机控制部控制所述检流计电动机，以使所述检流计镜的旋转驱动角度为由所述镜角度计算部计算出的旋转驱动角度。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述移动控制装置具有移动速度检测部，该移动速度检测部检测被所述移动单元移动的所述扫描头的移动速度，

针对工件扫描的激光束的轨迹具有规定的摆动宽度和规定的间距，

所述扫描器控制装置具有扫描速度计算部，所述扫描速度计算部接受由所述移动速度检测部检测出的所述扫描头的移动速度的数据，根据所述移动速度的数据计算使得针对工件扫描的激光束的轨迹为所述规定的间距的、新的扫描速度，

所述扫描器控制装置的所述检流计电动机控制部控制所述检流计电动机，以使以由所述扫描速度计算部计算出的新的扫描速度来扫描激光束。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，

还具备向所述扫描头输出激光束的激光振荡器，

所述扫描器控制装置具有：变化量计算部，其计算相对于预先设定的基准速度值而言由所述扫描速度计算部得到的新的扫描速度的变化量；激光输出计算部，其计算与由所述变化量计算部计算出的变化量的增减相应地增减了的新的激光输出；以及激光指令输出部，其向所述激光振荡器输出激光指令，以使从所述激光振荡器输出的激光束为由所述激光输出计算部计算出的新的激光输出。