[发明专利]传热辊

说明书

本申请公开了一种传热辊，包括圆柱形的外层，所述外层内套设有内层，所述外层和内层之间设有固体导热层，所述固体导热层贴住所述外层内壁设置根据本申请实施例提供的技术方案，通过在传热辊的内层和外层之间增设石墨层，通过石墨层进行的热传递效果更好，并且热量均匀扩散，能够使得传热辊表面温度均匀。

技术领域

本公开一般涉及真空装备领域，尤其涉及传热辊。

背景技术

磁控溅射镀膜时基材所需的温度必须由传热辊提供。现有技术传热辊内部夹层中通入热媒，由隔挡物进行导流，由于隔挡物的存在及流动过程中热量损失导致传热辊表面温度不均匀，进而导致基材温度不均匀，最终使成膜后膜层各区域质量存在差异。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种传热辊。

一方面，提供一种传热辊，包括圆柱形的外层，所述外层内套设有内层，其特征在于，所述外层和内层之间设有固体导热层，所述固体导热层贴住所述外层内壁设置。

优选的，所述固体导热层为石墨层。

优选的，所述石墨层包括多块相互拼接的石墨板。

优选的，所述石墨层的拼接方式为卡接或者螺栓连接或者键连接。

优选的，所述石墨层为一体成型的圆管状结构。

优选的，所述外层一端设有热媒入口，另一端设有热媒出口，所述热媒入口与所述热媒出口设置在所述传热辊轴线上；所述内层为圆柱形，且两端封闭设置。

优选的，所述固体导热层与所述内层之间设有第一导流道，所述第一导流道为螺旋状，且环绕所述内层设置。

优选的，所述固体导热层与所述内层之间均匀设有螺旋状排列的第一隔档板，所述第一隔档板一端与所述固体导热层接触，所述第一隔档板另一端与所述内层接触，螺旋状排列的所述第一隔档板之间形成第一流道。

优选的，所述第一隔档板宽度为0.5cm。

优选的，所述外层端部与所述内层端部之间设有螺旋状的第二导流道，所述第二导流道一端与所述热媒入口连通，另一端与所述第一导流道连通。

优选的，所述外层外表面抛光粗糙度<0.8μm。

根据本申请实施例提供的技术方案，通过在传热辊的内层和外层之间增设石墨层，通过石墨层进行的热传递效果更好，并且热量均匀扩散，能够使得传热辊表面温度均匀。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实施例中传热辊结构示意图；

图2为图1的左视图；

图3为本实施例中传热辊设置第一流道局部剖视图；

图4为本实施例中传热辊设置第二流道结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1和图2，本实施例提供一种传热辊，包括圆柱形的外层1，所述外层1内套设有内层2，所述外层1和内层2之间设有固体导热层，所述固体导热层贴住所述外层1内壁设置。