[发明专利]膜检测装置及膜检测方法

说明书

本申请公开一种膜检测装置及膜检测方法。所述膜检测装置的入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，缓存架包括多层可上下移动的收容机构，该收容机构用于暂存待检测成膜件。基于此，本申请能够有利于提高整个检测流程的协调性，提高检测效率。

技术领域

本申请涉及电子设备的成膜制造与品质检测技术领域，具体涉及一种膜检测装置及膜检测方法。

背景技术

PI(Polyimide,聚酰亚胺)膜是一种广泛应用于LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)、以及OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示器等中的薄膜结构，其成膜品质直接影响到显示器的显示效果，因此业界通常需要借助PIN(PIinspection,PI检测)机对PI膜进行检测，以避免其出现瑕疵、刮伤等缺陷。

PIN机是一种inline(内联)设备，其上游和下游分别设置有缓存架(Buffer)，即上游缓存架和下游缓存架，PIN机从上游缓存架调取待检测成膜件。但是，上游缓存架一般仅设置有10层用于暂存待检测成膜件的收容机构，其暂存的待检测成膜件的数量较少，一旦其缓存数量出现异常，则容易导致PIN机无法调取待检测成膜件，从而影响整个检测流程的协调性，并且在需要将上游缓存架上的待检测成膜件传送至PIN机的入料区时，位于PIN机上游或下游的机台需要切换为手动模式，需要人工手动将待检测成膜件搬运至PIN机的入料区。这显然不利于提高整个检测流程的协调性，从而导致检测效率低下。

申请内容

有鉴于此，本申请提供一种膜检测装置及膜检测方法，有利于提高整个检测流程的协调性，提高检测效率。

本申请一实施例的膜检测装置，包括入料区和检测区，所述入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，所述传送机构用于将待检测成膜件传送至检测区，所述收容机构用于暂存待检测成膜件且可上下移动。

本申请一实施例的膜检测方法，包括：

提供一膜检测装置，其入料区设置有相邻的传送机构和缓存架，所述缓存架包括多层可上下移动的收容机构；

所述缓存架的多层收容机构采用循环方式依次暂存待检测成膜件，所述循环方式表示其中一收容机构接收待检测成膜件之后位于所述其中一收容机构下方的第一层收容机构上升或者位于所述其中一收容机构上方的第一层收容机构下降以接收下一个待检测成膜件；

所述缓存架的收容机构与所述传送机构平齐，并将暂存于所述收容机构的待检测成膜件转移至所述传送机构上；

所述传送机构将位于其上的待检测成膜件传送至所述膜检测装置的检测区，并对所述待检测成膜件进行检测。

有益效果：本申请在膜检测装置(以PIN机为例)的入料区设置一缓存架，该缓存架包括可上下移动的多层收容机构，即入料区自身可以暂存待检测成膜件，即使PIN机上游的机台出现暂存异常，PIN机也可以依次调取自身入料区暂存的待检测成膜件，无需人工手动从上游搬运，无需将PIN机上游的机台切换为手动模式，因此，本申请能够有利于提高整个检测流程的协调性，提高检测效率。

附图说明

图1是本申请一实施例的膜检测装置的结构俯视示意图；

图2是本申请一实施例的传送机构的结构示意图；

图3是本申请一实施例的缓存架的结构示意图；

图4是本申请一实施例的膜检测方法的流程示意图。

具体实施方式