[发明专利]浸槽及供液系统

说明书

本发明提供一种浸槽，包括第一主体、第二主体和回流部，第一主体和第二主体相对设置，且第一主体、第二主体和回流部共同围合形成容腔，回流部设于第一主体和第二主体的底部，容腔用于盛装清洗液，第一主体内设有第一空腔，第一主体上还设有第一流道，第一空腔与容腔通过第一流道联通，第一空腔用于储存清洗液，第一流道用于将第一空腔内的清洗液输送至容腔，口金的喷嘴浸泡在容腔内的清洗液内，回流部设有阀门，通过控制阀门的开闭以切换浸泡和清洗的状态，回流部流出的清洗液用于输送至第一空腔以循环使用。通过上述设置，可加快清洗液流动速度，对口金的喷嘴冲刷更剧烈，提升清洗效果。本发明还提供了一种供液装置。

技术领域

本发明属于液晶工艺技术领域，尤其涉及一种浸槽及供液系统。

背景技术

Coater Nozzle即涂布喷嘴，又名口金，用于涂布光阻，是保证液晶工艺中成膜状况及涂布均一性的重要部件。每次在口金涂布使用完后，口金喷口仍充满光阻，为避免口金内光阻暴露在空气中凝固干结，需要将口金喷口浸入充满清洗液的浸槽内。在下次涂布使用前拿出，进行口金擦拭清洁后使用，避免残留的清洗液或浸槽内脏污影响口金喷吐光阻而造成破膜或涂布不均等不良。

目前常规的浸槽的结构为顶面开口的U型槽，清洗液通过管道输送到槽内，口金浸泡在槽内，当清洗时，清洗液从浸槽的顶部溢出，达到清洗液换新的目的。然而，目前的浸槽存在清洗液流动性差，不能很好的清洗口金的喷嘴的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种浸槽，可提升清洗口金效果，口金不需要再进行刮拭，还可输送走容腔内的光阻等脏污物，减少对清洗液的污染。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

第一方面，本发明提供一种浸槽，用于浸泡和清洗口金的喷嘴，包括第一主体、第二主体和回流部，所述第一主体和所述第二主体相对设置，且所述第一主体、所述第二主体和所述回流部共同围合形成容腔，所述回流部设于所述第一主体和所述第二主体的底部，所述容腔用于盛装清洗液，所述第一主体内设有第一空腔，所述第一主体上还设有第一流道，所述第一空腔与所述容腔通过所述第一流道联通，所述第一空腔用于储存清洗液，所述第一流道用于将所述第一空腔内的清洗液输送至所述容腔，所述口金的喷嘴浸泡在所述容腔内的清洗液内，所述回流部设有阀门，通过控制所述阀门的开闭以切换浸泡和清洗的状态，所述回流部流出的清洗液用于输送至所述第一空腔以循环使用。

其中，所述第一主体与所述第二主体结构相同，且轴对称设置，所述第一主体和所述第二主体的底部间隔第一距离，以形成第三流道，所述回流部跨连在所述第一主体和所述第二主体上，以封闭所述容腔的底部，所述第三流道连接至所述回流部。

其中，所述第一主体包括依次相连的底板、外侧板、顶板、第一内侧板和第二内侧板，所述第一内侧板和所述第二内侧板朝向所述第二主体方向，所述底板远离所述外侧板的一端与所述第二内侧板连接，所述第二内侧板相对所述底板呈倾斜状，所述第一内侧板与所述第二内侧板的夹角大于90°，以使所述容腔呈从顶部向底部缩口的结构。

其中，所述第一流道开设于所述第一内侧板上，所述第一流道在所述第一空腔一端的高度低于在所述容腔一端的高度。

其中，所述第一主体内还设有第二空腔，所述第二空腔内设有超声波器，所述超声波器用于向所述容腔内发射超声波，以使所述口金上的脏污物脱落。

其中，所述第一主体还包括横板，所述横板连接在所述第一内侧板远离所述顶板的一端和所述外侧板之间，所述横板、所述外侧板、所述顶板和所述第一内侧板围合形成所述第一空腔，所述横板、所述外侧板和所述第二内侧板围合形成所述第二空腔。

其中，所述第一主体还包括第三内侧板，所述第三内侧板连接在所述第二内侧板远离所述第一内侧板的一端和所述底板远离所述外侧板的一端之间，所述第三内侧板与所述回流部连接。