[发明专利]测量系统在审

专利信息
申请号: 201810548581.0 申请日: 2018-05-31
公开(公告)号: CN110161074A 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 蔡俊弘;陈宣伃 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: G01N25/00 分类号: G01N25/00;G01B11/16;G05D27/02
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 蕭輔寬
地址: 中国台湾高雄市楠梓*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 光学装置 光学传感器单元 变温容器 测量系统 透明板 空调 安置
【权利要求书】:

1.一种测量系统,其包括:

变温容器,其包括:

透明板;

光学装置,其包括:

第一光学传感器单元;和

第二光学传感器单元;以及

空调,其安置在所述透明板与所述光学装置之间。

2.根据权利要求1所述的测量系统,其中所述空调包括风刀。

3.根据权利要求2所述的测量系统,其中所述风刀与所述透明板之间的距离处于大致1厘米(cm)到大致5cm的范围内。

4.根据权利要求1所述的测量系统,其中所述空调包括:

风扇;和

吸收器。

5.根据权利要求1所述的测量系统,其进一步包括移动机构。

6.根据权利要求5所述的测量系统,其中所述移动机构配置成使所述空调朝向或远离所述透明板移动。

7.根据权利要求5所述的测量系统,其中所述移动机构配置成使所述空调转动。

8.根据权利要求1所述的测量系统,其中所述空调包括挡板单元。

9.根据权利要求8所述的测量系统,其进一步包括移动机构。

10.根据权利要求9所述的测量系统,其中所述移动机构配置成使所述挡板单元朝向或远离所述透明板移动。

11.根据权利要求9所述的测量系统,其中所述移动机构配置成使所述挡板单元转动。

12.根据权利要求8所述的测量系统,其中所述挡板单元形成为单体结构。

13.根据权利要求12所述的测量系统,其中所述挡板单元限定孔。

14.根据权利要求8所述的测量系统,其中所述挡板单元包括第一部分和第二部分。

15.根据权利要求14所述的测量系统,其进一步包括移动机构,其中所述第一部分限定第一孔且所述第二部分限定第二孔,且其中所述移动机构配置成使所述第一部分相对于所述第二部分移动。

16.根据权利要求1所述的测量系统,其中所述空调进一步包括温度控制装置,所述温度控制装置配置成控制从所述空调送出的气流的温度。

17.根据权利要求16所述的测量系统,其中所述气流经控制为具有在大致40摄氏度(℃)到大致60℃的范围内的温度。

18.根据权利要求1所述的测量系统,其进一步包括:

控制单元;和

传感器,

其中从所述空调送出的气流的温度、体积、速度或角度由所述控制单元基于由所述传感器检测到的一或多个信号来控制。

19.根据权利要求18所述的测量系统,其中传感器安置在所述变温容器内。

20.根据权利要求18所述的测量系统,其中所述传感器安置在所述变温容器外部且邻近于所述透明板。

21.根据权利要求1所述的测量系统,其进一步包括控制单元,其中从所述空调送出的气流的温度、体积、速度或角度由所述控制单元基于由所述光学装置所捕获的图像质量来控制。

22.一种变温容器,其包括:

透明板;和

空调,其邻近于所述透明板。

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