[发明专利]一种无尘室夹基片用的镊子

说明书

本发明公开了一种无尘室夹基片用的镊子,包括固定臂，固定臂下端连接有第一夹板，第一夹板末端边缘连接有第一胶条；固定臂上部连接有相互平行且垂直于的固定臂的第一导柱和第二导柱，第一导柱和第二导柱连接有活动臂，活动臂下端连接有第二夹板，第二夹板末端边缘连接有第二胶条；第一导柱外圈连接有第一弹簧，第二导柱外圈连接有第二弹簧；第一导柱靠近活动臂的末端连接有第一固定块，第二导柱靠近活动臂的末端连接有第二固定块。本发明具有夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时不需要更换镊子，不会发生崩边、污染基片表面的特点。

技术领域

本发明涉及一种无尘室夹基片用的镊子。

背景技术

在无尘室中进行微电子器件、MEMS器件等研发时经常使用镊子夹持基片。目前，无尘室夹基片用的镊子是靠镊子臂的旋转运动夹紧基片的，夹持方法有夹持基片的上下表面和夹持基片的侧边两种。夹持基片上下表面的方法，因为两个夹臂之间夹角较小可以对不同尺寸的基片进行牢固的夹持，但是由于镊子与基片上表面直接接触容易造成基片表面的污染或划伤。夹持基片侧边的方法，可以避免基片表面因镊子的直接接触而污染或划伤，但是存在以下两个问题：一方面，对于尺寸差异较大的基片需要更换不同尺寸的镊子，否则容易出现两个夹臂之间夹角过大，镊子臂与基片侧边接触面积较小，造成基片滑落；另一方面，即使使用合适尺寸的镊子，如果操作不当，夹持压力过大时仍会给基片侧边的尖锐棱边造成较大的局部应力而发生基片崩边，基片崩边产生的碎屑会污染基片上表面。因此现有的无尘室夹基片用的镊子存在夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时需要更换镊子和操作不当会发生崩边、污染基片表面的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种无尘室夹基片用的镊子。本发明具有夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时不需要更换镊子，不会发生崩边、污染基片表面的特点。

本发明的技术方案：一种无尘室夹基片用的镊子，包括固定臂，固定臂下端连接有第一夹板，第一夹板末端边缘连接有第一胶条；固定臂上部连接有相互平行且垂直于的固定臂的第一导柱和第二导柱，第一导柱和第二导柱连接有活动臂，活动臂下端连接有第二夹板，第二夹板末端边缘连接有第二胶条；第一导柱外圈设有第一弹簧，第二导柱外圈设有第二弹簧；第一导柱靠近活动臂的末端连接有第一固定块，第二导柱靠近活动臂的末端连接有第二固定块。

前述的无尘室夹基片用的镊子中，所述第一固定块，与第一导柱采用螺纹连接。

前述的无尘室夹基片用的镊子中，所述第二固定块，与第二导柱采用螺纹连接。

与现有技术相比，本发明通过采用相互平行的第一导柱和第二导柱使活动臂无法发生旋转运动而只能平移运动，因此镊子给基片侧边的压力与基片侧边垂直，从而避免基片滑落；另外，本发明通过在第一夹板末端边缘设置第一胶条和在第二夹板末端边缘设置第二胶条，不仅可以增大镊子和基片侧边的摩擦力从而防止基片滑落，还可以减小基片侧边的局部应力从而防止基片崩边。本发明具有夹持尺寸变化幅度较大的基片侧边时不需要更换镊子，不会发生崩边、污染基片表面的特点。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明使用方法示意图。

附图中的标记为：1-固定臂，2-第一夹板，3-第一胶条，4-第一导柱，5-第二导柱，6-第一弹簧，7-第二弹簧，8-活动臂，9-第二夹板，10-第二胶条，11-第一固定块，12-第二固定块，13-基片。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明，但并不作为对本发明限制的依据。