[发明专利]狭缝涂布装置有效

专利信息
申请号: 201810502027.9 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN108405266B 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 但清华 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C11/10
代理公司: 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 代理人: 林才桂;王中华
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 喷嘴 狭缝涂布 喷嘴升降机构 电性连接 喷嘴清理 生产效率 停机 载台 制程 升降 选中 维护
【说明书】:

发明提供一种狭缝涂布装置。所述狭缝涂布装置包括:载台、设于所述载台上方的第一喷嘴和第二喷嘴、与所述第一喷嘴及第二喷嘴相连的喷嘴升降机构以及与所述喷嘴升降机构电性连接的控制单元;所述控制单元能控制所述喷嘴升降机构对所述第一喷嘴和第二喷嘴进行升降,以选中所述第一喷嘴或第二喷嘴进行狭缝涂布,利用第一喷嘴和第二喷嘴交替工作,在一个喷嘴清理维护时,通过另一个喷嘴继续进行狭缝涂布制程,能够减少停机时间,提升生产效率。

技术领域

本发明涉及显示制造技术领域,尤其涉及一种狭缝涂布装置。

背景技术

随着显示技术的发展,液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点,而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品,成为显示装置中的主流。

通常液晶显示面板由彩膜基板(CF,Color Filter)、薄膜晶体管基板(TFT,ThinFilm Transistor)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC,Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)组成,其成型工艺一般包括:前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中,前段Array制程主要是形成TFT基板,以便于控制液晶分子的运动;中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶;后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合,进而驱动液晶分子转动,显示图像。

在目前的液晶显示面板等平板显示装置的生产过程中,常常要用到涂布机在基板上涂布光阻,以进行图案化制程。目前最常用的涂布机为狭缝式涂布机,其包括:喷嘴,所述喷嘴包括:第一喷嘴分体及与所述第一喷嘴分体固定连接的第二喷嘴分体,所述第一喷嘴分体与所述第二喷嘴分体相对设置且之间形成有狭缝,工作时,将涂布材料注入到所述喷嘴中,并从所述喷嘴的狭缝中流出涂布到基板上。但目前的狭缝式涂布机的维护时间长工作效率不高,主要表现在以下几个方面:首先,狭缝的缝隙大小的调整过程复杂,需要设备厂商的专业人员才能操作,操作耗时较长;其次,狭缝容易堵塞,每当狭缝堵塞时,均需要停机进行清理,影响生产效率;最后,当更换涂布材料时,需要对喷嘴中残留的旧涂布材料进行清理,清理时生产无法继续,影响生产效率,并且涂布材料在一个喷嘴中频繁切换可能导致清理残留,造成产品不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种狭缝涂布装置,能够减少停机时间,提升生产效率。

为实现上述目的,本发明提供了一种狭缝涂布装置,包括:载台、设于所述载台上方的第一喷嘴和第二喷嘴、与所述第一喷嘴及第二喷嘴相连的喷嘴升降机构以及与所述喷嘴升降机构电性连接的控制单元;

所述控制单元能控制所述喷嘴升降机构对所述第一喷嘴和第二喷嘴进行升降,以选中所述第一喷嘴或第二喷嘴进行狭缝涂布。

所述狭缝涂布装置还包括:缝隙调整机构,所述第一喷嘴和第二喷嘴上均设有一缝隙调整机构,所述缝隙调整机构用于调整所述狭缝的缝隙大小。

所述缝隙调整机构包括:调整壁、多个间隔排列的调整柱以及与所述多个调整柱均相连的调整驱动器,所述调整壁与所述第一喷嘴的侧壁或第二喷嘴的侧壁相对设置,所述调整柱连接所述调整壁与所述第一喷嘴的侧壁或第二喷嘴的侧壁,通过调整驱动器控制所述调整柱施加至所述所述第一喷嘴的侧壁或第二喷嘴的侧壁上的力的大小控制所述第一喷嘴或第二喷嘴中的狭缝的缝隙大小。

所述狭缝涂布装置还包括:第一进料泵和第二进料泵;

所述第一进料泵与所述第一喷嘴相连,用于向所述第一喷嘴提供涂布材料;

所述第二进料泵与所述第二喷嘴相连,用于向所述第二喷嘴提供涂布材料。

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