[发明专利]一种自动清洁机

说明书

本发明提供一种用于清洁卡匣仓储搬运设备内的储位接触面的自动清洁机，包括外框、底框、风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器、颗粒计数器和锂电池组，所述外框和底框一起形成一个密封的几何空间，所述无尘室吸尘器与所述底框无缝隙地接合，所述底框上设置一个开口，所述开口位于所述无尘室吸尘器和所述底框的接合处。所述自动清洁机具有瞬间启动、低压安全、实时监控、节省人力、预防危险、节能环保和长久耐用等优点，可解决设备维护人员无法定时清洁、高空清洁和实时清洁等难题，进一步提高卡匣仓储搬运设备的洁净度。

技术领域

本发明涉及半导体/液晶面板制造领域，涉及一种用于在无尘室内清洁卡匣仓储搬运设备的自动清洁机。

背景技术

随着液晶显示技术的不断发展，液晶屏已经成为人们日常生活中较为常见的显示屏。液晶面板是液晶屏的重要组成部分。

在液晶面板制造行业中，玻璃面板存储在各个仓储柜中，需要采用搬运设备可对每个仓储柜中的卡匣进行搬运。

在半导体制造工厂中，半导体晶圆由于需经过各种不同流程的处理且需配合工艺设备，因此会被搬运到不同的工作站。为了方便晶圆的搬运且避免受到外力碰撞，会将多个晶圆收纳于晶圆暂存卡匣中。当将存放晶圆的晶圆暂存卡匣搬运至下一工作站时，作业人员操纵机械手臂将晶圆暂存卡匣搬运至下一工作站，或者采用自动晶圆搬送机搬运晶圆暂存卡匣。

然而，不论是液晶面板厂还是半导体制造工厂，卡匣仓储搬运设备都是在无尘室内建造的，需要达到ISO 14644-1 Class 2以上标准。鉴于卡匣仓储搬运设备具有稼动率高、设备大、运行速度快、危险性高等特点，为了满足卡匣仓储搬运设备的洁净度要求，往往需要定期停机（每次1～4小时不等），花费大量人力进行清洁（每次需要4～8个人不等），以保证设备洁净度。此外，这还会导致产能损失、人力浪费、作业危险等问题。

为此，已有不少厂家采用卡匣仓储搬运设备自动清洁机，通过物料管理系统（materiel control system, MCS）针对卡匣仓储搬运设备的任意存放位置和接触位置进行清洁，同时也可设置定期清洁计划，有系统安排逐一执行，这能够有效地解决产能损失、人力浪费和作业危险等问题。

但是，现有的卡匣仓储搬运设备自动清洁机存在以下缺点：（1）卡匣仓储搬运设备自动清洁机动力部分需要电池供电，因此需要定期更换电池；（2）电池有燃烧和爆炸的风险，一旦发生将严重影响无尘室环境，因此需要在清洁机内安装电池温度侦测装置实时监控，电池需要放置在封闭不锈钢金属空间内，以防意外发生；（3）卡匣仓储搬运设备自动清洁机清洁区域存在局限性，只能清洁与卡匣仓储搬运设备接触的区域，不可完全取代人员清洁。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种改进的卡匣仓储搬运设备自动清洁机，解决了现有的卡匣搬运设备清洁难，以至于长期累积的微小颗粒影响产品良率。

为了解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种用于清洁卡匣仓储搬运设备内的储位接触面的自动清洁机，其特征在于，包括外框、底框、风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器、颗粒计数器和锂电池组，所述外框和底框一起形成一个密封的几何空间，所述风机过滤机组、无尘室吸尘器、可编程逻辑控制器、烟雾侦测器和颗粒计数器位于所述密封的几何空间中并且由所述锂电池组供电，所述无尘室吸尘器与所述底框无缝隙地接合，所述底框上设置一个开口，所述开口位于所述无尘室吸尘器和所述底框的接合处。

进一步地，所述无尘室吸尘器由吸尘器本体、管子和吸尘室吸嘴组成，所述吸尘器本体和所述吸尘室吸嘴由管子连接在一起，所述无尘室吸尘器通过其所述吸尘室吸嘴无缝隙地接合所述底框。

进一步地，所述自动清洁机还包括超音波传感器，所述超音波传感器位于所述底框上，用于侦测所述底框与所述储位接触面之间的距离。

进一步地，所述自动清洁机还包括压差计、风速计和振动计中的至少一种。