[发明专利]一种蓝宝石镜片清洗方法

权利要求书

1.一种蓝宝石镜片清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、等离子清洗：将蓝宝石镜片插架或装夹，用等离子清洗机对蓝宝石镜片进行清洗；

步骤二、混合酸液清洗：将蓝宝石镜片放入混合酸液中，在超声波条件下清洗30～40min，然后沥干残留混合酸液，用去离子水冲洗蓝宝石镜片，再将蓝宝石镜片烘干；其中，混合酸液为双氧水和浓硫酸的混合液，双氧水和浓硫酸的体积比为1:4～6；

步骤三、清洗液清洗：将蓝宝石镜片放入清洗液中，在超声波条件下清洗20～25min，然后用去离子水喷淋蓝宝石镜片，再用去离子水漂洗蓝宝石镜片，最后将蓝宝石镜片烘干；其中，以质量百分数计原料清洗液包括以下组分：非离子表面活性剂1～8％、羧甲基纤维素0.2～1％、硅酸钠2～6％、氢氧化钠3～10％、全氟聚醚基表面活性剂0.1～1％以及去离子水74～93.7％。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石镜片清洗方法，其特征在于，所述步骤一中等离子清洗机为真空等离子清洗机，清洗时间为2～5min。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石镜片清洗方法，其特征在于，所述步骤一中等离子清洗机选用氧气或氩气作为气源。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石镜片清洗方法，其特征在于，所述步骤二中用常温或加热至30～35℃的混合酸液对蓝宝石镜片进行清洗。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石镜片清洗方法，其特征在于，所述步骤三中用加热至60～65℃的清洗液对蓝宝石镜片进行清洗。

6.根据权利要求1所述的蓝宝石镜片清洗方法，其特征在于，所述步骤三中非离子表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚。

7.根据权利要求1所述的蓝宝石镜片清洗方法，其特征在于，所述步骤二和所述步骤三的超声波条件为：超声波频率为28～100KHz，超声波振动功率1.0～3.0kW。