[发明专利]气相层析设备的分离系统

权利要求书

1.一种气相层析设备的分离系统，其特征在于，包含：

一分离流路，由半导体制程制出的多个流路单元堆叠组成，每个该流路单元是由一底基材上制出一成形层再堆叠一上基材所构成，且于该成形层生成出一连续延伸环路连通的导气通路，该上基材并生成出一导气入口，连通于该导气通路一端，以及该底基材生成一导气出口，连通于该导气通路另一端，位于上层的该流路单元的该导气出口连通位于底层的该流路单元的该导气入口，促使堆叠的该每个流路单元的该导气通路得以相互连通；以及

一填充材，设置于该分离流路的该导气通路中；

借此，一受测样品由该导气入口导入流通于该分离流路的该导气通路中，该受测样品受该导气通路上该填充材以进行各成份的化合物的吸附分离，该受测样品所含各成份化合物以不同速度导出于该导气出口进行测定分析与纪录。

2.如权利要求1所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该填充材为具有吸附性的多孔聚合物，填充设置于该导气通路中。

3.如权利要求1所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该填充材为具有吸附性的分子筛材料，填充设置于该导气通路中。

4.如权利要求1所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该填充材为一填充载体上覆盖均匀具有吸附功能的固定液膜，填充设置于该导气通路中。

5.如权利要求4所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该填充载体为硅的氧化物，表面具有羟基得将该固定液膜植上。

6.如权利要求1所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该填充材为固定液膜直接涂布在该分离流路的导气通路之内壁表面附着。

7.如权利要求1所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该填充材为固定液膜直接溅镀在该分离流路的导气通路之内壁表面附着。

8.如权利要求1所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该分离流路的该导气入口连接一泵，该泵透过一管路连通一气路系统及一样品注入系统，该气路系统由一载体气体供应源及一稳压恒流装置透过该管路连接而受该泵导出流速稳定的一载体气体进入该分离流路的该导气通路中，该样品注入系统由一注入装置透过该管路连接，而使该受测样品由该注入装置注入后，受该泵导入该分离流路的该导气通路中。

9.如权利要求8所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该泵为一微机电系统泵。

10.如权利要求8所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该泵为一气体泵，其包含：

一喷气孔片，包含多个支架、一悬浮片及一中空孔洞，该悬浮片可弯曲振动，该多个支架邻接于该悬浮片周缘，而该中空孔洞形成于该悬浮片的中心位置，透过该多个支架设置定位该管路中，并提供弹性支撑该悬浮片，该喷气孔片与该管路之间形成一气流腔室，且该多个支架及该悬浮片之间形成至少一空隙；

一腔体框架，承载叠置于该悬浮片上；

一致动体，承载叠置于该腔体框架上，以接受电压而产生往复式地弯曲振动；

一绝缘框架，承载叠置于该致动体上；以及

一导电框架，承载叠设置于该绝缘框架上；其中，该致动体、该腔体框架及该悬浮片之间形成一共振腔室，透过驱动该致动体以带动该喷气孔片产生共振，使该喷气孔片的该悬浮片产生往复式地振动位移，以造成该载体气体及该受测样品通过该至少一空隙进入该气流腔室，再由该气体流道排出，实现该载体气体及该受测样品的传输流动。

11.如权利要求10所述的气相层析设备的分离系统，其特征在于，该致动体包含:

一压电载板，承载叠置于该腔体框架上；

一调整共振板，承载叠置于该压电载板上；以及

一压电板，承载叠置于该调整共振板上，以接受电压而驱动该压电载板及该调整共振板产生往复式地弯曲振动。