[发明专利]清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机

说明书

本发明公开了清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机，属于光刻版加工领域。将辅助载具设置为包括载板及至少2个压块，载板上设置有安装槽，光刻版平行放置在安装槽内。在清洗机对光刻版进行清洗时，固定放置在清洗机上的辅助载具随载台一同旋转。至少2个的压块的转动轴均位于压块的中部，并将其分为第一部分与第二部分，第一部分与第二部分分别延伸至安装槽的上方与下方，其重心设置在第二部分上，在辅助载具的旋转过程中，便于压块将光刻版压紧在载板上对光刻版进行固定，使得光刻版不会脱离载台而受损。

技术领域

本发明涉及光刻版加工领域，特别涉及清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机。

背景技术

光刻版在发光二极管外延片的加工制作过程中应用非常广泛，其上具有一定的图形结构，该图形结构可通过曝光、显影及刻蚀操作转移至芯片上以在芯片上形成特征图形。光刻版在使用一段时间后，其表面会染上脏污，因此需要对光刻版进行定期清洗以保证其正常使用。

现有的光刻版通常都是通过清洗机进行清洗，清洗机包括载台与清洁刷，载台上具有矩形固定挡块，矩形固定挡块与光刻版的四周相贴，清洗机控制载台绕光刻版的垂线进行旋转，同时清洗机控制清洁刷一边转动一边对光刻版进行清洗。由于载台上的固定挡块所围成的形状固定，不能适用于不同周长及形状的光刻版，如果强行清洗与固定挡块所围成的形状不同的光刻版，会导致其在载台内晃动甚至脱离载台，进而造成光刻版损坏。

发明内容

为了使清洗机能够对不同周长及形状的光刻版进行清洗，本发明实施例提供了清洗光刻版的辅助载具和光刻版清洗机。所述技术方案如下：

本发明实施例提供了一种清洗光刻版的辅助载具，所述辅助载具用于可拆卸固定在清洗机的载台上；

所述辅助载具包括载板及至少两个压块，所述载板上设置有安装槽，所述安装槽内开设有用于供清洗液流过的第一通孔，所述至少两个压块沿所述安装槽的边沿间隔均匀布置，每个所述压块可转动地设置在所述载板上，所述压块的转动轴位于所述压块的中部，所述压块被所述转动轴分为第一部分和第二部分，所述第一部分延伸到所述载板的上方，所述第二部分延伸到所述载板的下方，所述压块的重心位于所述第二部分上。

可选地，所述压块上设置有第二通孔，所述第二通孔内插设有所述转动轴，所述转动轴与所述第二通孔为间隙配合；

所述载板上设置有至少两对安装耳部，所述至少两对安装耳部与所述至少两个压块一一对应，所述压块的转动轴的两端分别固定在一对所述安装耳部上。

可选地，所述第一部分的端部设置有弧形凸起。

可选地，所述安装槽的深度为2mm。

可选地，所述安装槽的形状为长方体。

可选地，所述第一通孔为矩形孔。

可选地，所述第一通孔的相对设置的两侧上分别设置有一个半圆形通孔。

可选地，所述辅助载具采用聚醚醚酮制作。

可选地，所述载板为长方体状，所述载板的四角处设置有直角凹槽。

本发明实施例还提供了一种光刻版清洗机，所述光刻版清洗机包括如前所述的清洗光刻版的辅助载具。