[发明专利]治具

说明书

本发明公开了一种治具，应用于将密封圈安装进对应凹槽内，所述治具包括：第一平板，所述第一平板上设置至少一第一通孔；所述第一平板的第一平面用于接收外力，所述第一平板上与所述第一平面相对的第二平面用于按压所述密封圈，移动所述治具以通过所述第一平板将所述密封圈安装进所述对应凹槽内，以提高密封圈的安装效率及操作人员的安全性。

技术领域

本发明涉及工装技术领域，特别是涉及一种治具。

背景技术

干法蚀刻(DRY Etch)设备的腔体由上下两部分组成，一般在下腔壁上方会安装一条密封圈(O-ring)，在腔体上下两部分合腔后起到密封作用，使腔体不会漏气。搭配保养时会对密封圈进行更换，目前仅有拆卸密封圈的治具，没有辅助安装密封圈的工具。当前的安装方式为：由人工使用被无尘布包裹的六角扳手进行按压，由于密封圈的尺寸会比安装沟槽稍大一些以保证其能起到很好的密封作用，因此人工按压比较费力且效率低下，若由一个人完成，需0.5-1小时，同时有对人的手指以及密封圈造成损伤的风险。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种治具，提高密封圈的安装效率同时避免操作人员及密封圈的损伤。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：

提供一种治具，应用于将密封圈安装进对应凹槽内，所述治具包括：

第一平板，所述第一平板上设置至少一第一通孔；

所述第一平板的第一平面用于接收外力，所述第一平板上与所述第一平面相对的第二平面用于按压所述密封圈，移动所述治具以通过所述第一平板将所述密封圈安装进所述对应凹槽内。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明通过在第一平板上设置至少一第一通孔用作将密封圈安装进对应凹槽内的治具，所述第一平板的第一平面用于接收外力，所述第一平板上与所述第一平面相对的第二平面用于按压所述密封圈，移动所述治具以通过所述第一平板将所述密封圈安装进所述对应凹槽内，进而提高密封圈的安装效率及操作人员的安全性。

附图说明

图1是本发明治具的第一实施例结构示意图；

图2是本发明治具的第二实施例结构示意图；

图3是本发明治具的第三实施例结构示意图；

图4a是本发明第二实施例治具的主视结构示意图；

图4b是本发明第二实施例治具的俯视结构示意图；

图4c是本发明第二实施例治具的仰视结构示意图；

图5a是本发明第二实施例治具一次按压密封圈轨迹示意图；

图5b是本发明第二实施例治具二次按压密封圈轨迹示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细的说明。

请参阅图1，是本发明治具的第一实施例结构示意图。所述治具应用于将密封圈安装进对应凹槽内，所述治具10包括：

第一平板11，所述第一平板11上设置至少一第一通孔12；

所述第一平板11的第一平面13用于接收外力，所述第一平板11上与所述第一平面13相对的第二平面14用于按压所述密封圈，移动所述治具10以通过所述第一平板11将所述密封圈安装进所述对应凹槽内。

其中，所述至少一第一通孔12包括若干第一通孔12，所述若干第一通孔12为矩形，在所述第一平板11上间隔均匀排布。

本实施例中，所述至少一第一通孔12包括三个所述第一通孔12。