[发明专利]振荡结构、光学设备以及制造振荡结构的方法

权利要求书

1.一种振荡结构，所述振荡结构包括：

第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件，限定旋转轴，

移动元件，插入在所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件之间，所述移动元件被配置为由于所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件的扭曲而绕所述旋转轴旋转，

其中所述移动元件、所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件位于第一平面上并且彼此分离，以及

耦合结构，位于与所述第一平面不同的第二平面上，其中所述移动元件、所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件通过所述耦合结构被机械地耦合在一起；以及

第一耦合接口区域、第二耦合接口区域以及第三耦合接口区域，位于所述第一平面和所述第二平面之间并彼此间隔开，所述第一耦合接口区域将所述耦合结构与所述移动元件相链接，所述第二耦合接口区域将所述耦合结构与所述第一扭转弹性元件相链接，所述第三耦合接口区域将所述耦合结构与所述第二扭转弹性元件相链接。

2.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述移动元件、所述第一扭转弹性元件和所述第二扭转弹性元件专有地通过所述耦合结构被机械地耦合在一起。

3.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述耦合结构的所述第二平面平行于所述第一平面、并且在低于所述第一平面的高度处延伸。

4.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述耦合结构包括环形部分，所述环形部分包含一个或多个通孔孔径。

5.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述第二耦合接口区域和所述第三耦合接口区域沿所述旋转轴延伸，并且其中所述第一耦合接口区域沿与所述旋转轴正交的相应轴延伸。

6.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述第一耦合接口区域、所述第二耦合接口区域和所述第三耦合接口区域被布置成使得彼此之间的距离最大化。

7.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述耦合结构包括椭圆环形部分，所述第一耦合接口区域、所述第二耦合接口区域和所述第三耦合接口区域被布置在由描述所述椭圆环形部分的椭圆的短轴和长轴形成的交叉的顶点处。

8.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述耦合结构包括具有斜角的四边形环形部分，所述第一耦合接口区域、所述第二耦合接口区域和所述第三耦合接口区域包括描述所述四边形环形部分的四边形的长边和短边的中点。

9.根据权利要求1所述的振荡结构，其中在所述第一耦合接口区域处，将所述耦合结构的周界区域布置在所述移动元件之上。

10.根据权利要求1所述的振荡结构，其中在所述第一耦合接口区域处，所述耦合结构的外边缘在至少一个点处与中心部分的相应外边缘重合。

11.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述耦合结构还包括位于所述第二平面中的支撑部分。

12.根据权利要求1所述的振荡结构，其中所述移动元件包含反射元件，所述振荡结构形成微反射镜。

13.一种光学设备，所述光学设备包括根据权利要求12所述的微反射镜。

14.根据权利要求13所述的光学设备，还包括：

光源，所述光源被配置为产生入射在所述反射元件上的光束，以及

图像生成模块，所述图像生成模块被可操作地耦合到所述振荡结构，以产生与由所述反射元件反射的光束相关联的图像的一部分。