[发明专利]一种全钨面向等离子体样品台有效
| 申请号： | 201810352255.2 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN108844567B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 刘东平;张洋 | 申请（专利权）人： | 大连民族大学 |
| 主分类号： | G01D11/30 | 分类号： | G01D11/30;G01D11/00 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 李楠 |
| 地址： | 116600 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 面向 等离子体 样品 | ||
【权利要求书】：
1.一种全钨面向等离子体样品台，其特征在于，包括全钨等离子体屏蔽保护罩(1)、真空水冷系统(2)、负偏压系统(3)；
所述的全钨等离子体屏蔽保护罩(1)由多孔钨栅极板(12)和全钨保护罩(11)真空氩弧焊接而成，所述的全钨保护罩(11)上方设有样品孔(14)，所述的钨栅极板(12)设有气孔(13)；
所述的真空水冷系统(2)包括钨铜块(22)、铜铬锆管(21)、真空不锈钢转接头(23)、不锈钢管(24)，所述的钨铜块(22)设有通孔，所述的铜铬锆管(21)穿过钨铜块(22)的通孔并真空氩弧焊接，所述的铜铬锆管(21)与不锈钢管(24)通过真空不锈钢转接头(23)连接；所述的真空水冷系统(2)通过聚四氟乙烯真空卡箍(4)连接到腔体外部；
所述的负偏压系统(3)包括不锈钢环(31)和负偏压引出线(32)，所述的不锈钢环(31)将负偏压引出线(32)固定在不锈钢管(24)外侧。
2.如权利要求1所述的全钨面向等离子体样品台，其特征在于，所述的气孔(13)为圆形。
3.如权利要求1所述的全钨面向等离子体样品台，其特征在于，所述的负偏压引出线(32)连接外部直流负偏压电源。
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