[发明专利]激光输出功率稳定输出光斑可调装置及其激光器

权利要求书

1.激光输出功率稳定输出光斑可调装置，其特征在于：包括信号处理器(5)、激光器控制系统(6)、以及在待调节激光器的输出激光(11)光路上依次设置的快轴准直镜(12)和分束镜(2)；分束镜(2)用于将输出激光(11)分成反射采样激光(21)和透射激光(22)；

沿反射采样激光(21)的传输方向依次设置光学采样系统(3)和高功率探测传感器(4)；

光学采样系统(3)对反射采样激光(21)的尺寸进行转换，高功率探测传感器(4)实时探测经过转换的反射采样激光(21)的功率；

信号处理器(5)分别与高功率探测传感器(4)和激光器控制系统(6)电连接，用于对反射采样激光(21)的功率进行分析处理，并将处理结果传输至激光器控制系统(6)；

激光器控制系统(6)与待调节激光器电连接，用于接收信号处理器(5)传送的处理结果，并根据该处理结果向待调节激光器发送输出激光(11)功率调节信号；

沿透射激光(22)的传输方向设置光束整形系统(7)，用于对透射激光(22)进行准直以及整形。

2.根据权利要求1所述的激光输出功率稳定输出光斑可调装置，其特征在于：所述光学采样系统(3)包括沿反射采样激光(21)传输方向依次设置的非球面透镜(31)和柱面透镜(32)。

3.根据权利要求1或2所述的激光输出功率稳定输出光斑可调装置，其特征在于：所述光束整形系统(7)包括沿透射激光(22)传输方向依次设置的光焦度为正的第一透镜组(71)、光焦度为负的第二透镜组(72)、光焦度为正的第三透镜组(73)和光焦度为正的第四透镜组(74)；

第二透镜组(72)沿透射激光(22)光轴移动实现变焦；第三透镜组(73)沿透射激光(22)光轴移动，用于补偿第二透镜组(72)移动引起的像差。

4.根据权利要求3所述的激光输出功率稳定输出光斑可调装置，其特征在于：所述分束镜(2)为平板式分光镜或分光棱镜。

5.根据权利要求4所述的激光输出功率稳定输出光斑可调装置，其特征在于：所述高功率探测传感器(4)为风冷或水冷的激光功率计。.

6.一种输出功率稳定及输出光斑可调激光器，包括高功率半导体堆栈激光器本体(1)，其特征在于：还包括如权利要求1至5任一所述的激光输出功率稳定输出光斑可调装置。

7.根据权利要求6所述的一种输出功率稳定及输出光斑可调激光器，其特征在于：所述高功率半导体堆栈激光器本体(1)采用一个或多个高功率半导体堆栈激光器。