[发明专利]一种基板夹紧定位机构及基板检测装置

说明书

本发明公开了一种基板夹紧定位机构，利用两个固定组前后夹紧单元和两个活动组前后夹紧单元可在面板水平放置后，将面板在前后方向进行夹紧定位，利用两个固定组靠位单元和两个活动组靠位单元，可将面板在左右方向进行夹紧定位，利用升降夹紧单元可将定位好的面板进行夹紧，如此，在翻转面板时，面板不会从水平方向滑出，且翻转后便于相机对面板拍照找原点。

技术领域

本发明涉及基板的检测技术领域，尤其涉及一种基板夹紧定位机构及基板检测装置。

背景技术

在光罩等基板的制造过程中，通常需要将其放置于宏观检查设备上进行宏观检测，以检查面板或基板上是否存在缺陷。

现有的光罩等基板的宏观检查设备的夹持机构，只能简单的实现垂直方向的夹紧。在检查过程中，需要将基板夹紧后要进行翻转和拍照定位等动作，以检查不同位置及不同角度的基板缺陷。而采用现有的夹持机构在翻转过程中稍有不慎基板就会从水平方向滑出，造成破片。另外拍照定位实现的前提是相机能够找到基板的原点。现有的夹持机构由于基板每次放置时，每片基板的放置位置都会有偏差，且不能对基板的位置进行调整并准确定位，因此拍照定位功能并不能实现。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种基板夹紧定位机构及基板检测装置，使其更具有产业上的利用价值。

发明内容

本发明的目的在于提出一种基板夹紧定位机构及基板检测装置，能够稳定地夹紧面板，避免其在翻转过程中滑出，且在夹紧面板时能够精确的对面板进行定位，以便后续对面板拍照定位。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种基板夹紧定位机构，包括框架、设置在所述框架上的夹紧组件和定位组件，其中，

所述框架具有相对的两个侧板；

所述夹紧组件包括两组升降夹紧单元，两组所述升降夹紧单元分别设置在两个所述侧板上且相对，两组所述升降夹紧单元能够夹紧所述面板相对的两端；

所述定位组件包括：

两个固定组前后夹紧单元，两个所述固定组前后夹紧单元分别相对的设置在两个所述侧板上并位于所述夹紧组件一侧；

两个活动组前后夹紧单元，两个所述活动组前后夹紧单元分别相对的设置在两个所述侧板上并位于所述夹紧组件另一侧；且两个所述固定组前后夹紧单元与两个所述活动组前后夹紧单元能够分别抵靠所述面板相平行的两个侧边的两个端部上。

进一步的，所述基板夹紧定位机构还包括：

两个固定组靠位单元，两个所述固定组靠位单元设置在其中一个所述侧板上并分别位于所述固定组前后夹紧单元与所述活动组前后夹紧单元下方；

两个活动组靠位单元，两个所述活动组靠位单元设置在另外一个所述侧板上并分别位于所述固定组前后夹紧单元与所述活动组前后夹紧单元下方；且两个所述固定组靠位单元与两个所述活动组靠位单元能够分别抵靠所述面板相平行的另外两个侧边的两个端部上。

进一步的，每组所述升降夹紧单元均包括相对设置的下压板和上压板，所述下压板和所述上压板能够做升降运动及沿垂直于所述侧板的方向运动。

进一步的，所述下压板和所述上压板均连接有驱动其沿垂直于所述侧板的方向运动的第一气缸，所述第一气缸上安装有第一支撑座，所述第一支撑座上连接有驱动其升降的第二气缸，所述第二气缸安装在所述侧板上。

进一步的，所述固定组前后夹紧单元包括第一挡臂、驱动所述第一挡臂沿所述侧板水平移动的第三气缸，所述第三气缸安装在所述侧板上的第二支撑座上，且所述第三气缸上设有限制其相对所述第二支撑座移动的第一紧固装置。