[发明专利]基于调制弱值放大技术的相位分布测量装置及方法

权利要求书

1.一种基于调制弱值放大技术的相位分布测量装置，其特征在于包括发光单元、系统前选择态单元、第一相位补偿单元、偏振分束单元、样品耦合单元、偏振合束单元、系统后选择态单元和光信息采集单元；所述样品耦合单元包括载物台以及装载在载物台上的待测样品；所述系统后选择态单元由偏振态选择器和第二相位补偿子单元组成；

所述相位分布测量装置中的光路走向为：

由发光单元发出的光束经系统前选择态单元制备为线偏振光，线偏振光经第一相位补偿单元进行相位补偿后再经偏振分束单元分为两束偏振态相互正交的偏振光，两束偏振光一束进入样品，另一束穿过载物台作为参考光束，从样品透射的偏振光束与参考光束经偏振合束单元合并为一束椭圆偏振光，再经系统后选择态单元后由光信息采集单元接收；通过设定的系统前选择态单元和系统后选择态单元，将经历相位延迟的合成光束投影在给定的后选择态上，通过对系统后选择态单元的后选择角φ及第一相位补偿单元的补偿相位β进行反馈调节，直至获得清晰的二维分布图像，并将其作为相位分布测量的成像分析结果；

或者，由发光单元发出的光束经系统前选择态单元制备为线偏振光，线偏振光经第一相位补偿单元进行相位补偿后再经偏振分束单元分为两束偏振态相互正交的偏振光，两束偏振光进入样品，从样品透射的两偏振光经偏振合束单元合并为一束椭圆偏振光，再经系统后选择态单元后由光信息采集单元接收；通过设定的系统前选择态单元和系统后选择态单元，将经历相位延迟的合成光束投影在给定的后选择态上，通过对系统后选择态单元的后选择角φ及第一相位补偿单元的补偿相位β进行反馈调节，直至获得清晰的二维分布图像，并将其作为相位分布测量的成像分析结果。

2.一种基于调制弱值放大技术的相位分布测量装置，其特征在于包括发光单元、系统前选择态单元、第一相位补偿单元、分束镜、偏振分束单元、样品耦合单元、系统后选择态单元和光信息采集单元；所述样品耦合单元包括载物台以及装载在载物台上的待测样品，载物台的一面镀有反射膜或安装有可调反射镜；所述系统后选择态单元由偏振态选择器和第二相位补偿子单元组成；

所述相位分布测量装置中的光路走向为：

由发光单元发出的光束经系统前选择态单元制备为线偏振光，线偏振光经第一相位补偿单元进行相位补偿后入射到分束镜上，从分束镜出射的光束经偏振分束单元分为两束偏振态相互正交的偏振光，两束偏振光一束进入样品，另一束进入载物台作为参考光束，从样品反射出的偏振光束与经载物台反射膜或可调反射镜反射的参考光束经偏振分束单元再次合并为一束椭圆偏振光，椭圆偏振光束继后经分束镜和系统后选择态单元后由光信息采集单元接收；通过设定的系统前选择态单元和系统后选择态单元，将经历相位延迟的合成光束投影在给定的后选择态上，通过对系统后选择态单元的后选择角φ及第一相位补偿单元的补偿相位β进行反馈调节，直至获得清晰的二维分布图像，并将其作为相位分布测量的成像分析结果

或者，由发光单元发出的光束经系统前选择态单元制备为线偏振光，线偏振光经第一相位补偿单元进行相位补偿后入射到分束镜上，从分束镜出射的光束经偏振分束单元分为两束偏振态相互正交的偏振光，两束偏振光进入样品，从样品反射出的两束偏振光经偏振分束单元再次合并为一束椭圆偏振光，椭圆偏振光束继后经分束镜和系统后选择态单元后由光信息采集单元接收；通过设定的系统前选择态单元和系统后选择态单元，将经历相位延迟的合成光束投影在给定的后选择态上，通过对系统后选择态单元的后选择角φ及第一相位补偿单元的补偿相位β进行反馈调节，直至获得清晰的二维分布图像，并将其作为相位分布测量的成像分析结果。