[发明专利]一种石英玻璃的退火方法

权利要求书

1.一种石英玻璃的退火方法，包括将石英玻璃摆放在退火炉中，其特征在于，所述退火方法还包括：

先以200-250℃/h的升温速率，将退火炉的温度由室温升至1090-1200℃，保温6-8h；

再以3-5℃/h的降温速率，将退火炉的温度降至1035-1050℃，保温6-8h；

再以15-20℃/h的降温速率，将退火炉的温度降至900℃；

最后石英玻璃随炉自然冷却，炉温低于200℃后，开启炉门，将石英玻璃置于空气中完全冷却至室温；

所述石英玻璃为采用含硅化合物为原料，氢氧焰为热源，并经化学气相沉积法制备得到的高纯石英玻璃；所述石英玻璃的厚度为100mm；所述石英玻璃竖直摆放在退火炉中；所述退火炉内设有装卡模具；所述装卡模具包括底板以及设置在底板上的多条平行的隔板，所述隔板之间形成用于固定石英玻璃的凹槽，所述石英玻璃竖直摆放在装卡模具的凹槽内；所述凹槽的宽度大于石英玻璃的厚度20-40mm，凹槽的间距为50-70mm，凹槽的深度为80-120mm。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃的退火方法，其特征在于，所述石英玻璃的尺寸不超过500mm×500mm×100mm或Φ750mm×100mm。

3.根据权利要求1所述的石英玻璃的退火方法，其特征在于，所述装卡模具还包括弧形卡具，所述弧形卡具为两边为平面，一边为凹弧面的三角卡块，所述弧形卡具放置在装卡模具的凹槽内用于固定圆形石英玻璃。

4.根据权利要求1所述的石英玻璃的退火方法，其特征在于，所述装卡模具的材质为高纯锆砖。

5.根据权利要求1所述的石英玻璃的退火方法，其特征在于，所述退火炉包括支架、炉体、底座、驱动装置；其中

所述炉体安置在所述支架上，且所述炉体内部中空以形成炉膛；

所述底座安置于所述炉体的正下方，且与支架侧部设置的导轨滑动连接，使底座能沿着导轨垂向滑动；

所述支架的下方设有平移滑轨，底座沿着导轨滑动至导轨最低点时与平移滑轨滑动连接，使底座能沿着平移滑轨水平滑动；

所述驱动装置连接底座，用于驱动底座沿着导轨垂向滑动以及沿着平移滑轨水平滑动。