[发明专利]一种改变激光光强分布膜片的制造方法在审
| 申请号： | 201810282204.7 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110361797A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;张建英;黄宏;林磊;任策 | 申请（专利权）人： | 福州高意光学有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B5/00 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学薄膜 飞秒激光 激光光强分布 光强分布 光学表面 膜片 去除 光学基片 激光透射 设计图案 反射 修饰 蒸发 制造 修正 计算机 打击 | ||
【权利要求书】：
1.一种改变激光光强分布膜片的制造方法，其特征在于：其包括以下步骤：
1）在光学基片上镀光学薄膜；
2）利用飞秒激光逐点蒸发去除部分光学薄膜，使得光学薄膜形成激光透射或反射所需光强分布的光学表面结构。
2.根据权利要求1所述的一种改变激光光强分布膜片的制造方法，其特征在于：所述制造方法还包括步骤3）将所述光学表面结构进行抛光。
3.根据权利要求1所述的一种改变激光光强分布膜片的制造方法，其特征在于：所述光学薄膜的厚度小于或等于100μm。
4.根据权利要求1所述的一种改变激光光强分布膜片的制造方法，其特征在于：所述光学基片的材质为Si、YAG或TGG。
5.根据权利要求1-4之一所述的一种改变激光光强分布膜片的制造方法，其特征在于：所述制造方法应用于将高斯激光变为均匀激光，所述光学薄膜为金属膜，所述光学表面结构为连续环状的台阶结构，且各台阶为同轴线设置。
6.根据权利要求1-4之一所述的一种改变激光光强分布膜片的制造方法，其特征在于：所述制造方法应用于激光的渐变反射衰减，所述光学薄膜为金属膜，所述光学表面结构为一端向另一端逐级升高的台阶结构，各台阶均为长方体状。
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