[发明专利]一种微电子机械清洗装置

权利要求书

1.一种微电子机械清洗设备，其特征在于,包括清洗室、离心清洗单元、蒸汽发生单元和负压控制单元，所述清洗离心单元设置在清洗室(2)内部，待清洗的微电子元器件放置在离心清洗单元上，蒸汽发生单元向清洗室(2)输入蒸汽，所述负压控制单元调整清洗室(2)内容积控制清洗室(2)压强。

2.根据权利要求1所述的微电子元器件清洁设备，其特征在于,所述蒸汽发生单元包括蒸汽发生器(3)和干燥室(4)，清洗室(2)的下方或者前侧设置有蒸汽发生器(3)和干燥室(4)，蒸汽发生器(4)通过第一连通管(5)与干燥室(4)联通，第一连通管(5)上设有气泵(6)，干燥室(4)通过管道与喷头(7)连接。

3.根据权利要求2所述的微电子元器件清洁设备，其特征在于,所述蒸汽发生器(3)为氢氟酸蒸汽发生器(4)。

4.根据权利要求1所述的微电子元器件清洁设备，其特征在于,所述离心清洗单元包括电机(8)和放置盘(11)，清洗室(2)底部位置以螺栓连接方式设置有电机(8)，电机(8)输出轴通过联轴器(9)连接至转轴(10)，转轴(10)的上端面与放置盘(11)连接，放置盘(11)上表面设有可在竖直平面转动的夹持件(12)，夹持件(12)的自由端有擦拭棉球。

5.根据权利要求1所述的微电子元器件清洁设备，其特征在于,所述负压控制单元包括气缸(14)、第二连通管(15)、气动换向阀(17)、进气管(18)和活塞(13)，在清洗室(2)的右侧滑动设置有活塞(13)，活塞(13)与气缸(14)的伸缩杆连接，气缸(14)的进气管(18)与气动换向阀(17)的第二连通管(15)相连，通过气动换向阀(17)的左右开闭，将进气管(18)进入的气流经第二连通管(15)送入气缸(14)的前部或后部，使气缸(14)前移或后退。

6.根据权利要求1所述的微电子元器件清洁设备，其特征在于,所述清洗室(2)的上侧壁上设置有放气阀(16)。