[发明专利]一种残留气体清除装置

权利要求书

1.一种残留气体清除装置，其特征在于，所述装置包括微型真空泵(1)、样气进气端(6)、气体传感器检测气室(7)、样气气路排气端(10)、电子流量计(9)、电源输入端(11)、电池组(12)、主控板(13)、液晶面板(8)和电源开关(14)；

所述样气进气端(6)、气体传感器检测气室(7)和微型真空泵(1)通过管道依次连接；所述管道的一端为样气进气端(6)，另一端为样气气路排气端(10)；

所述气体传感器检测气室(7)和微型真空泵(1)之间设有电子流量计(9)；

所述主控板(13)分别与与微型真空泵(1)、气体传感器检测气室(7)、电子流量计(9)、电源输入端(11)、电池组(12)、液晶面板(8)和电源开关(14)电连接。

2.如权利要求1所述的一种残留气体清除装置，其特征在于，所述气体传感器检测气室(7)和微型真空泵(1)之间设有单向阀(2)。

3.如权利要求1所述的一种残留气体清除装置，其特征在于，所述样气进气端(6)、气体传感器检测气室(7)、微型真空泵(1)和样气气路排气端(10)通过管道依次连接。

4.如权利要求1所述的一种残留气体清除装置，其特征在于，所述装置还包括三通接头(3)，所述三通接头(3)设置在管道上，一端连接气体传感器检测气室(7)，一端连接微型真空泵(1)，另一端通过单向阀(2)、电子流量计(9)和样气气路排气端(10)排出气体。

5.如权利要求4所述的一种残留气体清除装置，其特征在于，所述三通接头(3)和微型真空泵(1)之间设有单向阀(2)。

6.如权利要求1所述的一种残留气体清除装置，其特征在于，所述装置还包括三通气路连接件(5)，所述三通气路连接件(5)设置在管道上，内部设有多路通道，一路连接气体传感器检测气室(7)，一路连接电磁阀(4)，另一路通过单向阀(2)、电子流量计(9)和样气气路排气端(10)排出气体。

7.如权利要求6所述的一种残留气体清除装置，其特征在于，所述三通气路连接件(5)还设有连接微型真空泵(1)和电磁阀(4)的通孔。

8.如权利要求1所述的一种残留气体清除装置，其特征在于，所述电池组(12)连接外接电源，用于为装置进行供电。

9.如权利要求1所述的一种残留气体清除装置，其特征在于，所述液晶面板(8)上显示装置运行数据；所述电源开关用于控制装置启停。