[发明专利]水循环装置及研磨装置

权利要求书

1.一种水循环装置，其特征在于，包括中心轴(1)和冷却盘(2)，所述中心轴(1)的内部沿其轴向设有通孔，所述冷却盘(2)可拆卸式固设于所述中心轴(1)的顶端，且与所述中心轴(1)共轴设置，所述冷却盘(2)上设有第二进水孔(21)和第二出水孔(22)，所述第二进水孔(21)和所述第二出水孔(22)均贯通所述冷却盘(2)的顶面和底面；

所述中心轴(1)的底端滑动连接有调节块(3)，所述调节块(3)能够沿所述中心轴(1)的轴向滑动调节，所述调节块(3)上设有第一进水孔(31)和第一出水孔(32)，所述中心轴(1)的通孔内穿设有进水管和出水管，所述进水管连通于所述第一进水孔(31)和所述第二进水孔(21)之间，所述出水管连通于所述第一出水孔(32)和所述第二出水孔(22)之间；

所述水循环装置还包括锁紧装置，所述中心轴(1)的底端端部沿其轴向固设有导向柱(11)，所述调节块(3)上设有导向孔(33)，所述导向柱(11)滑动插接于所述导向孔(33)内，所述锁紧装置用于对所述导向柱(11)插入所述导向孔(33)内的深度进行锁紧固定。

2.根据权利要求1所述的水循环装置，其特征在于，所述导向柱(11)为三个，三个所述导向柱(11)沿所述中心轴(1)的周向均匀排布，所述导向孔(33)与所述导向柱(11)相应也为三个。

3.根据权利要求1或2所述的水循环装置，其特征在于，所述调节块(3)的底部固接有旋转接头(4)，所述旋转接头(4)包括连接部和转动部，所述连接部固接于所述调节块(3)的底部，所述转动部枢接于所述连接部的底部，所述转动部上设有第三进水孔和第三出水孔，所述第三进水孔与所述第一进水孔(31)连通，所述第三出水孔与所述第一出水孔(32)连通。

4.一种研磨装置，其特征在于，包括研磨平台(5)、驱动装置(6)和权利要求1－3中任一项所述的水循环装置，所述水循环装置冷却盘(2)的顶面上设有冷却水槽(23)，所述冷却水槽(23)的一端与所述第二进水孔(21)连通，另一端与所述第二出水孔(22)连通，所述研磨平台(5)可拆卸式固设于所述冷却盘(2)的顶部，所述冷却水槽(23)内的冷却水对所述研磨平台(5)进行冷却降温；所述驱动装置(6)用于驱动所述中心轴(1)沿其轴心自转。

5.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，所述冷却水槽(23)包括阿基米德螺线槽，所述阿基米德螺线槽的进口端与所述冷却盘(2)上的第二进水孔(21)连通，出口端与所述冷却盘(2)上的第二出水孔(22)连通，且所述第二进水孔(21)位于所述冷却盘(2)的轴线处，所述第二出水孔(22)位于所述冷却盘(2)靠近边缘的位置。

6.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述阿基米德螺线槽包括第一螺线槽(231)和第二螺线槽(232)，所述第一螺线槽(231)的进口端与所述冷却盘(2)上的第二进水孔(21)通过直线槽(233)连通，所述第一螺线槽(231)与所述第二进水孔(21)之间形成第一环形安装区(24)；所述第二螺线槽(232)的出口端与所述冷却盘(2)上的第二出水孔(22)连通，所述第一螺线槽(231)的出口端与所述第二螺线槽(232)的进口端也通过直线槽(233)连通，所述第一螺线槽(231)与所述第二螺线槽(232)之间形成第二环形安装区(25)。

7.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述冷却盘(2)的底部设有凹槽(26)，所述凹槽(26)设于所述第二进水孔(21)和所述第二出水孔(22)之间，所述第二出水孔(22)和所述第二进水孔(21)之间的一段所述出水管镶嵌于所述凹槽(26)内。

8.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，所述冷却盘(2)与所述研磨平台(5)之间通过螺纹紧固件可拆卸式固接，所述冷却盘(2)和所述研磨平台(5)上设有相对应的螺纹孔，所述冷却盘(2)或所述研磨平台(5)上还设有环形的密封槽，所述密封槽与所述螺纹孔同心设置，且所述密封槽内镶嵌有密封件。

9.根据权利要求8所述的研磨装置，其特征在于，所述冷却盘(2)外罩设有筒状的防水罩(7)。