[发明专利]一种画锡装置在审
申请号: | 201810197202.8 | 申请日: | 2018-03-10 |
公开(公告)号: | CN108555411A | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 蒙国荪;杨国运;葛时建;夏郁权;陈秋伟 | 申请(专利权)人: | 桂林立德爱博半导体装备有限公司 |
主分类号: | B23K3/00 | 分类号: | B23K3/00;B23K3/08 |
代理公司: | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人: | 周雯 |
地址: | 541004 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 控制组件 工作台 横向连接块 纵向连接块 滑轨 底座 加工精度要求 制造成本 装置结构 机械件 下端 | ||
本发明公开了一种画锡装置,包括底座、X‑Y工作台、Z轴控制组件和画锡部分,所述的X‑Y工作台安装在底座上;X‑Y工作台上设有横向连接块,横向连接块通过X‑Y工作台上的滑轨与X‑Y工作台连接;Z轴控制组件通过横向连接块与X‑Y工作台连接;Z轴控制组件上设有纵向连接块,纵向连接块通过Z轴控制组件上的滑轨与Z轴控制组件连接;画锡部分安装在Z轴控制组件的下端,通过纵向连接块与Z轴控制组件连接。该装置结构设计简单,机械件加工精度要求适中,制造成本低。
技术领域
本发明涉及半导体芯片封装技术领域,具体是一种画锡装置。
背景技术
目前在集成电路IC制造中,半导体设备贯穿整个封装流程,电子封装作为IC工业的后道工序,通过IC芯片与其他器件连接、固定到管壳或基板上,从而组成一个具有特定功能的IC元件投入到实际应用中。在半导体芯片封装过程中,需要将裸芯片从蓝膜或UV膜上拾取后放置到基材上,通过芯片粘结(DB)工艺将芯片连接到基材上,再通过引线键合(WB)等塑封工艺完成整个封装工序。目前,芯片粘结可以采用共晶、银胶、焊锡三种方式,其中焊锡方式主要包括点锡式、拍锡式、画锡式。
在对不同芯片的粘结焊锡中发现,锡头工作方式使用点锡式、拍锡式、画锡式存在以下不足:
(1)点锡式:点锡、点胶式工作模式主要用于小功率晶体管的生产中,工作时点锡头与金属框架的接触面积较小,以点锡球的方式可以实现小功率晶体管的生产要求。但在对大功率晶体管的点锡过程中,由于焊锡丝熔成锡球后,锡球用量增大,锡球球体体积增大、直径增大,锡球直径超过芯片高度,造成产品焊锡成膜的厚度超标,所以点锡式无法实现锡料大面积成膜的生产要求。
(2)压锡式:压锡式又称拍锡式,压锡式工作模式主要用于大功率晶体管的生产中,在金属框架点锡之后采用压模头对锡球进行拍压完成。锡膜的成型大小由压模头的大小决定,针对不同芯片采用不同压模头,使用成本高。且压模头的使用次数与其质量、材料有关,使压模头成为生产耗材,生产成本增加。实际生产中,由于压模头的拍压速度较快,容易引起锡料四溅、锡料分布不均匀、锡膜厚度不均匀、锡膜出现空洞等现象造成锡料浪费,产品质量不稳定等缺陷。
(3)画锡式:现有画锡式工作模式通过单一X-Y工作台完成画锡头的动作控制,可以达到工作要求。但其结构设计复杂,机械件加工精度要求高,制造成本高,生产中机械振动大,控制较困难。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足,而提供一种画锡式装置,该装置结构设计简单,机械件加工精度要求适中,制造成本低。工作时,可以精准控制焊锡丝工作区域,可以根据芯片规格调节焊锡厚度、面积,画锡头可以反复使用不易损耗,降低生产成本。实际生产中,装置机械振动小,控制较简单,实现锡料分布均匀、不四溅,锡膜厚度均匀、无空洞,不易造成锡料浪费,产品质量稳定。
实现本发明目的的技术方案是:
一种画锡装置,包括底座、X-Y工作台、Z轴控制组件和画锡部分。
所述的X-Y工作台安装在底座上;X-Y工作台上设有横向连接块,横向连接块通过X-Y工作台上的滑轨与X-Y工作台连接;Z轴控制组件通过横向连接块与X-Y工作台连接;Z轴控制组件上设有纵向连接块,纵向连接块通过Z轴控制组件上的滑轨与Z轴控制组件连接;画锡部分安装在Z轴控制组件的下端,通过纵向连接块与Z轴控制组件连接。
所述的X-Y工作台和Z轴控制组件上分别安装有X轴-Y轴控制电机和Z轴控制电机。
所述的Z轴控制组件上还安装有锡丝盘。
所述的画锡部分,包括画锡头固定座、画锡头、X轴-Y轴画锡电机、送丝电机;画锡头固定座安装在Z轴控制组件的下端;画锡头安装在画锡头固定座的底部;X轴-Y轴画锡电机输出轴与画锡头固定座连接;送丝电机的输出轴穿过画锡头固定座与锡丝速度控制轮连接;锡丝放置在Z轴控制组件的锡丝盘上,通过锡丝将锡丝盘与锡丝速度控制轮连接。
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