[发明专利]一种多组分气体分析傅里叶红外光谱仪

权利要求书

1.一种多组分气体分析傅里叶红外光谱仪，其特征在于，包括底座、激光器、红外光源部件、离轴抛物面反射镜、干涉仪、长光程吸收池、红外探测器和气泵；

所述激光器、红外光源部件、离轴抛物面反射镜、干涉仪、长光程吸收池、红外探测器和气泵均固定在所述底座上；所述激光器设置在干涉仪的出光口，用于提供控制干涉仪的参考光束；所述气泵用于将待测气体抽吸到长光程吸收池及排出；所述红外光源部件设置在干涉仪的入光口，红外光源部件出射的红外光经离轴抛物面反射镜准直后，进入干涉仪形成红外干涉光；所述红外干涉光经离轴抛物面反射镜耦合后进入长光程吸收池，所述红外干涉光与待测气体反应后出射，形成带有待测气体分子信息的红外干涉信号，红外探测器探测到所述红外干涉信号后传输给数据处理模块，经所述数据处理模块处理得到待测气体的组成成分及浓度。

2.如权利要求1所述的多组分气体分析傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述长光程吸收池出光口出设有离轴抛物面反射镜，所述离轴抛物面反射镜将反应后的红外干涉光聚焦整形到所述红外探测器。

3.如权利要求1或2所述的多组分气体分析傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述干涉仪包括基座、双角镜扭摆动镜、分束镜、固定反射镜和音圈电机；

所述双角镜扭摆动镜、分束镜、固定反射镜和音圈电机固定在所述基座上，所述音圈电机与所述双角镜扭摆动镜连接，当电流驱动音圈电机带动双角镜扭摆动镜发生转动时，双角镜扭摆动镜与固定反射镜之间形成光程差，红外光经过双角镜扭摆动镜与固定反射镜反射在分束镜再次相遇时，形成红外干涉光。

4.如权利要求3所述的多组分气体分析傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述双角镜扭摆动镜包括两个立体角反射镜，固定反射镜包括两个平面反射镜，一个立体角反射镜与一个平面反射镜相对应，从而使两束红外光在分束镜形成红外干涉光。

5.如权利要求1或2所述的多组分气体分析傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述红外光源部件包括宽光谱红外光源、凹面集光反射镜和光源散热底座；

所述宽光谱红外光源与凹面反射镜均固定在光源散热座上，宽光谱红外光源位于凹面反射镜光轴线上，凹面反射镜对红外光源发射的红外光聚焦整形。

6.如权利要求1所述的多组分气体分析傅里叶红外光谱仪，其特征在于，所述长光程吸收池下设有加热装置。