[发明专利]一种损伤监测装置及系统在审
| 申请号： | 201810149793.1 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108362771A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 白玉庭 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/90 | 分类号： | G01N27/90;G01N29/09 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 信号处理模块 监测模块 物理参数 显示模块 掩膜版 监测 装置及系统 损伤监测 损伤 非接触式监测 变化判断 监测结果 监测数据 接收监测 模块发送 影响生产 宕机 进程 | ||
1.一种损伤监测装置，其特征在于，包括：监测模块、信号处理模块和显示模块；其中，
所述监测模块用于在电信号的控制下对待监测掩膜版进行非接触式监测，并将监测到的物理参数发送给所述信号处理模块；
所述信号处理模块用于接收所述监测模块发送的所述物理参数，并根据所述物理参数的变化判断所述待监测掩膜版是否出现损伤，得出处理后的数据和结果；
所述显示模块用于显示所述信号处理模块处理后的数据及监测结果。
2.如权利要求1所述的损伤监测装置，其特征在于，所述监测模块包括：监测单元和测量转化单元；
所述监测单元用于向所述待监测掩膜版发射电磁波或超声波，当所述待监测掩膜版出现损伤时所述监测单元的阻抗发生变化；
所述测量转化单元用于将所述监测单元的阻抗发生的变化转化电压参数的变化，并将所述电压参数的数据发送给所述信号处理模块。
3.如权利要求2所述的损伤监测装置，其特征在于，所述监测单元设置于所述待监测掩膜版的待监测面的正上方的预设距离处。
4.如权利要求3所述的损伤监测装置，其特征在于，在平行于所述待监测掩膜版的平面上所述待监测单元按照预设规律移动。
5.如权利要求2所述的损伤监测装置，其特征在于，所述监测单元包括传感线圈或脉冲反射式超声波传感器。
6.如权利要求3所述的损伤监测装置，其特征在于，所述监测单元与所述待监测掩膜版之间的距离为15cm～25cm。
7.如权利要求1所述的损伤监测装置，其特征在于，所述信号处理模块包括处理器。
8.如权利要求1-7任一项所述的损伤监测装置，其特征在于，还包括报警模块；
所述信号处理模块还用于在处理后的数据超出预设阈值时向所述报警模块发送控制信号；
所述报警模块用于接收到所述信号处理模块发送的所述控制信号后报警。
9.如权利要求8所述的损伤监测装置，其特征在于，所述报警模块包括：发光二极管和蜂鸣器中之一或组合。
10.一种损伤监测系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的损伤监测装置。
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