[发明专利]铝掺杂氧化锌膜以及形成其的方法

权利要求书

1.一种形成铝掺杂氧化锌膜的方法，所述方法包括：

通过溶液沉积法在基底上形成种晶层；

在所述种晶层上沉积包含硝酸锌和氢氧化铵的前驱体溶液；以及

在等于或低于85℃的温度下，使所述前驱体溶液与铝金属接触；

其中，所述铝掺杂氧化锌膜由所述前驱体溶液和所述铝金属形成。

2.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述种晶层包含氧化锌。

3.根据权利要求2所述的方法，

其中，形成所述种晶层包括：

在所述基底上沉积包含氧化锌纳米粒子的分散系；以及

加热沉积的氧化锌纳米粒子，以形成所述种晶层。

4.根据权利要求3所述的方法，

其中，在所述基底上沉积所述分散系包括：利用所述分散系旋涂或浸涂所述基底。

5.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述种晶层包含铝掺杂氧化锌。

6.根据权利要求1至5任一项所述的方法，所述方法还包括：

通过混合柠檬酸铵、硝酸铵和氧化锌粉末，形成包含氧化锌、硝酸锌和氢氧化铵的混合物。

7.根据权利要求6所述的方法，所述方法还包括：

向所述混合物中添加碱性溶液，以使所述混合物的pH值为至少11。

8.根据权利要求7所述的方法，

其中，所述碱性溶液是氢氧化铵。

9.根据权利要求7所述的方法，所述方法还包括：

在向所述混合物中加入所述碱性溶液之后，搅拌所述混合物；以及

在将所述前驱体溶液沉积在所述种晶层上之前，对所述混合物进行过滤，以形成所述前驱体溶液。

10.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述方法在非真空环境中进行。

11.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述基底包括玻璃。

12.根据权利要求1所述的方法，

其中所述基底包括聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。

13.根据权利要求1所述的方法，

其中，使所述前驱体溶液沉积，以及使所述前驱体溶液与所述铝金属接触实施30分钟至120分钟范围内的任意值的持续时间。

14.根据权利要求1所述的方法，

其中，所述铝掺杂氧化锌膜具有在60nm至80nm范围内的任意值的厚度。

15.一种铝掺杂氧化锌膜，根据权利要求1所述的方法形成。

16.根据权利要求15所述的铝掺杂氧化锌膜，

其中，所述铝掺杂氧化锌膜具有超过70％的透光率。

17.根据权利要求15所述的铝掺杂氧化锌膜，

其中，所述铝掺杂氧化锌膜具有超过90％的透光率。

18.根据权利要求15所述的铝掺杂氧化锌膜，

其中，所述铝掺杂氧化锌膜具有小于200欧姆/平方的薄层电阻。

19.根据权利要求15所述的铝掺杂氧化锌膜，

其中，所述铝掺杂氧化锌膜具有5B级的粘附力等级。

20.根据权利要求15所述的铝掺杂氧化锌膜，

其中，所述铝掺杂氧化锌膜具有光滑表面。