[发明专利]抛光设备在审

专利信息
申请号: 201810130748.1 申请日: 2018-02-08
公开(公告)号: CN108422305A 公开(公告)日: 2018-08-21
发明(设计)人: 褚恒岩;钟明云 申请(专利权)人: 江西联创电子有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B29/00;B24B47/12;B24B57/02;B24B47/22
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 何世磊
地址: 330096 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 抛光盘 抛光设备 安装基板 抛光板 底座 抛光效率 驱动装置 抛光层 转动 驱动
【权利要求书】:

1.一种抛光设备,其特征在于,包括底座、机架、上抛光盘以及下抛光盘,所述下抛光盘安装在所述底座上,所述上抛光盘安装在所述机架上并位于所述下抛光盘的上方,所述下抛光盘设有多个安装基板,所述上抛光盘设有多个朝向所述安装基板的抛光板,所述抛光板上设有抛光层,所述抛光设备还包括用于驱动所述抛光板、所述安装基板以及所述下抛光盘转动的驱动装置。

2.根据权利要求1所述的抛光设备,其特征在于,所述安装基板呈圆形,多个所述安装基板围绕所述下抛光盘的中心间隔均匀布置。

3.根据权利要求2所述的抛光设备,其特征在于,所述抛光板呈圆形,多个所述抛光板围绕所述上抛光盘的中心间隔均匀布置,所述上抛光盘的中心轴线与所述下抛光盘的中心轴线重合。

4.根据权利要求1所述的抛光设备,其特征在于,所述抛光板上开设有多个通孔,所述抛光层为嵌设于所述通孔内的条形刷。

5.根据权利要求4所述的抛光设备,其特征在于,所述上抛光盘设有多个用于向所述抛光层输送抛光液的导流管,所述导流管的数量与所述抛光板的数量一致且一一对应布置。

6.根据权利要求5所述的抛光设备,其特征在于,所述下抛光盘设有导流槽,所述导流槽用于收集所述抛光液并将所述抛光液导出所述下抛光盘。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的抛光设备,其特征在于,所述驱动装置包括多个用于驱动所述抛光板转动的第一驱动件,所述第一驱动件的数量与所述抛光板的数量一致且一一对应布置。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的抛光设备,其特征在于,所述驱动装置包括多个用于驱动所述安装基板转动的第二驱动件,所述第二驱动件的数量与所述安装基板的数量一致且一一对应布置。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的抛光设备,其特征在于,所述驱动装置还包括用于驱动所述下抛光盘转动的第一驱动组件,所述第一驱动组件包括驱动电机和与所述驱动电机连接的减速机,所述减速机与所述下抛光盘连接。

10.根据权利要求1-6中任一项所述的抛光设备,其特征在于,所述抛光设备还包括安装在所述机架上的第二驱动组件,所述第二驱动组件包括电磁阀、气缸以及连接件,所述气缸通过所述连接件与所述上抛光盘连接,所述电磁阀用于控制所述气缸驱动所述上抛光盘向靠近或远离所述下抛光盘的方向移动。

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