[发明专利]流量传感器加热器电路校准

说明书

流量传感器加热器电路校准。一种流体流量传感器中的加热器控制电路。该电路包括第一、第二和第三电阻器，加热器电阻器，可微调电阻器以及开关。第一电阻器的正端子连接到可微调电阻器的正端子，第一电阻器的负端子连接到加热器电阻器的正端子，可微调电阻器的负端子连接到第二电阻器的正端子，第二电阻器的负端子连接到第三电阻器的正端子，并且加热器电阻器的负端子连接到第三电阻器的负端子，第二电阻器的端子附着到开关的端子，其中开关被配置成在校准模式中闭合并且被配置成在流量感测模式中断开。

相关申请的交叉引用

本申请要求Andrew J. Milley在2017 年2月7日提交且标题为“FLOW SENSORHEATER CIRCUIT CALIBRATION”的美国专利申请序列号15/426,516的优先权，其通过引用被结合到本文，如同被整体地复制一样。

关于联邦赞助的研究或开发的声明

不适用。

对缩微胶片附录的参考

不适用。

背景技术

流量传感器（flow sensor）用来感测流体流量，并且在一些情况下，提供可以用于仪表和/或控制的流量信号。在各种各样的应用中使用流量传感器，仅举几例，包括工业应用、医疗应用、引擎控制应用、军事应用和航空应用。在流量传感器的设计和制造方面的技术创新可能针对减小尺寸和/或增加流量传感器的准确度。

发明内容

在实施例中，公开了一种用于基于热传递的流体流量传感器的加热器控制电路。加热器控制电路包括第一电阻器、加热器电阻器、可微调（trimmable）电阻器、第二电阻器和第三电阻器。第一电阻器的正端子连接到可微调电阻器的正端子，第一电阻器的负端子连接到加热器电阻器的正端子，可微调电阻器的负端子连接到第二电阻器的正端子，第二电阻器的负端子连接到第三电阻器的正端子，并且加热器电阻器的负端子连接到第三电阻器的负端子。加热器控制电路进一步包括第一电子开关，其中第一电子开关的正端子连接到第二电阻器的正端子并且第一电子开关的负端子连接到第二电阻器的负端子，其中当加热器控制电路在校准模式中操作时，第一电子开关被配置成闭合（close）并且提供绕过第三电阻器的短路，并且其中第一电子开关被配置成当加热器控制电路在流量感测模式中操作时断开（open）。

在另一实施例中，公开了一种流体流量传感器。流体流量传感器包括微机电系统（MEMS）半导体芯片、加热器控制电路和第一电子开关。MEMS半导体芯片包括上游流量传感器电阻器、下游流量传感器电阻器和设置在上游流量传感器电阻器和下游流量传感器电阻器之间的加热器电阻器。加热器控制电路包括第一电阻器、可微调电阻器、第二电阻器和第三电阻器。第一电阻器的正端子连接到可微调电阻器的正端子，第一电阻器的负端子连接到加热器电阻器的正端子，可微调电阻器的负端子连接到第二电阻器的正端子，第二电阻器的负端子连接到第三电阻器的正端子，并且加热器电阻器的负端子连接到第三电阻器的负端子。第一电子开关的正端子连接到第二电阻器的正端子，并且第一电子开关的负端子连接到第二电阻器的负端子，其中当加热器控制电路在校准模式中操作时，第一电子开关被配置成闭合并且提供绕过第三电阻器的短路，并且其中第一电子开关被配置成当第一电子开关在流量感测模式中操作时断开。

在又一实施例中，公开了一种制造流体流量传感器的方法。该方法包括制造流体流量传感器封装，其中该封装包括微机电系统（MEMS）半导体芯片和包括可微调电阻器的连接到MEMS半导体芯片的加热器控制电路，所述微机电系统（MEMS）半导体芯片包括上游流量传感器电阻器、下游流量传感器电阻器和设置在上游流量传感器电阻器与下游流量传感器电阻器之间的加热器电阻器。该方法进一步包括将流体流量传感器封装电配置到操作的校准模式，在操作的校准模式中确定跨由流体流量传感器封装形成的校准惠斯通电桥的电压差，以及基于跨校准惠斯通电桥的电压差来调整可微调电阻器的电阻。

根据结合附图和权利要求进行的以下详细描述，将更清楚地理解这些和其它特征。

附图说明