[发明专利]一种复合涂层切削工具及其制备方法在审
| 申请号： | 201810112461.6 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN108359936A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 何霞文 | 申请（专利权）人： | 深圳市奥美特纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市深科信知识产权代理事务所(普通合伙) 44422 | 代理人： | 彭光荣 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合涂层 切削工具 氧化铝膜 软膜 硬膜 制备 表面制备 工具包括 基材表面 界面应力 相对滑动 低应力 剪切带 耐用度 基材 膜层 耐磨 硬层 紧贴 缓解 | ||
1.一种复合涂层切削工具，包括基材和形成于所述基材表面的复合涂层，其特征在于，所述复合涂层包括氧化铝膜和至少一层Al膜，所述Al膜和所述氧化铝膜紧贴。
2.根据权利要求1所述的复合涂层切削工具，其特征在于，所述复合涂层还包括与所述Al膜紧贴的TiN膜。
3.根据权利要求2所述的复合涂层切削工具，其特征在于，所述TiN膜的厚度为2-10nm。
4.根据权利要求2所述的复合涂层切削工具，其特征在于，所述复合涂层还包括与所述Al膜紧贴的TiCxNyOz膜，其中，x+y+z=1。
5.根据权利要求4所述的复合涂层切削工具，其特征在于，所述氧化铝膜、所述TiN膜和所述TiCxNyOz膜之间均隔有所述Al膜。
6.根据权利要求1-5任一项所述的复合涂层切削工具，其特征在于，所述Al膜的厚度为1-2.5nm。
7.根据权利要求1-5任一项所述的复合涂层切削工具，其特征在于，所述氧化铝膜的厚度为4-8nm。
8.根据权利要求1-5任一项所述的复合涂层切削工具，其特征在于，所述复合涂层的厚度为0.1-0.3μm。
9.权利要求1-8任一项所述的复合涂层切削工具的制备方法，其特征在于，所述复合涂层是采用离子体沉积技术制备得到的。
10.根据权利要求9所述的复合涂层切削工具的制备方法，其特征在于，所述复合涂层是采用直流磁控溅射技术或阴极弧磁过滤技术制备得到的。
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