[发明专利]参数优化方法、装置以及非瞬时计算机可读取介质

说明书

一种参数优化的方法，包括：对输入参数、输出反应值以及目标值以多个优化方案作参数搜寻，以自输入参数空间中的数值搜寻范围中搜寻多个候选推荐参数；根据用户历史决策信息，赋予各优化方案一权重值；根据权重值，自候选推荐参数中筛选出至少一推荐参数；提供用户接口，供用户针对推荐参数输入决策指令；根据决策指令，自推荐参数中挑选新输入参数，并将新输入参数输入目标系统，以评估目标系统响应新输入参数所产生的新输出反应值是否满足规格条件；基于决策指令更新用户历史决策信息，调整优化方案所对应的权重值。

技术领域

本发明是有关于一种可对目标系统的参数优化的方法、装置以及非瞬时计算机可读取介质。

背景技术

随着半导体工艺技术不断进步，工艺越先进，研发成本与设备成本就越高。为了让产品配合研发时程及时推出，如何对工艺参数作最佳化成为关键。

般而言，参数优化方法可大致分为两种，一种为数据导向决策(data-drivendecision making)方法，一种为专家导向决策(human expertdecision making)方法。前者需要大量的试验数据让机器作自动化学习，故在只有少数数据(或数据取得成本高)的应用情境中，此方法会得到较差的参数解。后者则多是利用工程师/实施者的经验及知识，并通过尝试错误(trial and error)的方式来寻找最佳的参数，但此方法取决于工程师/实施者的专业经验，且缺乏自动且学习的机制。

因此，如何提升参数优化方法的执行效率，乃业界亟待解决的议题之一。

发明内容

本发明是有关于一种可对目标系统的参数优化的方法、装置以及非瞬时计算机可读取介质。根据本发明实施例，在执行以数据导向决策(data-driven decision making)为基础的优化方案过程中，加入用户回馈机制。利用多个不同的优化方案产生多个候选推荐参数，再根据用户的决策指令以及用户历史决策信息自动修正并调整对于候选推荐参数的推荐机制，从而提升参数优化的收敛速度。

根据本发明的一方面，提出一种参数优化的方法。该方法包括：提取输入至目标系统的至少一输入参数、该目标系统响应该至少一输入参数的至少一输出反应值、以及对应该至少一输出反应值的至少一目标值；对该至少一输入参数、该至少一输出反应值以及该至少一目标值以多个优化方案作参数搜寻，以自一输入参数空间中的一数值搜寻范围中搜寻多个候选推荐参数；根据一用户历史决策信息，赋予各该优化方案一权重值；根据该些优化方案所被赋予的该些权重值，自该些候选推荐参数中筛选出至少一推荐参数；提供一用户接口，供一用户针对该至少一推荐参数输入一决策指令；根据该决策指令，自该至少一推荐参数中挑选至少一新输入参数，并将该至少一新输入参数输入该目标系统，并评估该目标系统响应该至少一新输入参数所产生的至少一新输出反应值是否满足一规格条件；基于该决策指令更新该用户历史决策信息以调整该些优化方案所对应的该些权重值。

根据本发明的另一方面，提出一种非瞬时计算机可读取储存介质。该非瞬时计算机可渎取储存介质储存至少一可执行指令，该至少一可执行指令在由一电子装置执行时使该电子装置执行如下操作：提取输入至目标系统的至少一输入参数、该目标系统响应该至少一输入参数的至少一输出反应值、以及对应该至少一输出反应值的至少一目标值；对该至少一输入参数、该至少一输出反应值以及该至少一目标值以多个优化方案作参数搜寻，以自一输入参数空间中的一数值搜寻范围中搜寻多个候选推荐参数；根据一用户历史决策信息，赋予各该优化方案一权重值；根据该些优化方案所被赋予的该些权重值，自该些候选推荐参数中筛选出至少一推荐参数；提供一用户接口，供一用户针对该至少一推荐参数输入一决策指令；根据该决策指令，自该至少一推荐参数中挑选至少一新输入参数，并将该至少一新输入参数输入该目标系统，并评估该目标系统响应该至少一新输入参数所产生的至少一新输出反应值是否满足一规格条件；基于该决策指令更新该用户历史决策信息以调整该些优化方案所对应的该些权重值。