[发明专利]光器件和光器件的制造方法有效
申请号: | 201810096231.5 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN108387975B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 柴田康平 | 申请(专利权)人: | 富士通光器件株式会社 |
主分类号: | G02B6/30 | 分类号: | G02B6/30 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 吕俊刚;杨薇 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 器件 制造 方法 | ||
光器件和光器件的制造方法。一种光器件包括基板。基板包括具有第一光波导的第一光波导部件、一对第一突起件以及第一图案,所述一对第一突起件的侧面之间的间隙在沿着第一光波导的光轴的方向上变化。该光器件包括第二光波导部件。该第二光波导部件包括第二光波导、至少一对第二突起件以及第二图案。第二图案和第一图案彼此焊接,并且至少一对第二突起件的侧面分别与一对第一突起件的侧面接触。
技术领域
这里所讨论的实施方式涉及光器件和光器件的制造方法。
背景技术
近年来,能够将分别包括光波导的多个部件安装在一个基板上的混合安装已经在光传输领域中引起注意。对于采用该混合安装的光器件,有时使用被称为自对准的方法,在该方法中,光波导使用焊料的表面张力光学地彼此耦合。
也就是说,在自对准中,准备上面安装有具有光波导的第一光波导部件的基板和具有光波导的第二光波导部件,该基板的电极图案和第二光波导部件的电极图案被设置为彼此相对,并且相对的电极图案用焊料彼此连接。在熔化相对的电极图案之间的焊料时,基于相对的电极图案之间的焊料的表面张力的力从焊料施加到第二光波导部件的电极图案,并且根据施加于电极图案的力使第二光波导部件在基板上移动。因此,第二光波导部件的光波导的端面接近第一光波导部件的光波导的端面,使得第二光波导部件的光波导光学地耦合到第一光波导部件的光波导。
在该自对准中,在光波导的相互位置从彼此位移时,降低了光耦合的精度,并且增大了耦合损耗。因此,期望精确定位当执行焊接时要在基板上移动的部件(即,第二光波导部件)。因此,已经研究,在两个光波导伴随着焊接而彼此耦合时,使得在第二光波导部件上设置的突起件的侧面与在基板上设置的突起件的侧面接触,从而使第二光波导部件与基板上的适当位置对准。
然而,在使突起件的侧面单纯彼此接触的情况下,因为对于突起件的一些制作精度而在突起件的尺寸上可能存在个体差异,所以第二光波导部件会从适当的位置位移。如果第二光波导部件从适当的位置位移,则第二光波导部件的光波导和第一光波导部件的光波导的相互位置从彼此位移,这会导致降低光耦合精度。
因此,在本发明的实施方式的一个方面中目的是提供可以实现高精度的光耦合的光器件以及光器件的制造方法。
发明内容
根据实施方式的一个方面,一种光器件包括:基板,该基板包括具有第一光波导的第一光波导部件、所述一对第一突起件以及第一图案,所述一对第一突起件的侧面之间的间隙在沿着第一光波导的光轴的方向上变化;和第二光波导部件,该第二光波导部件包括第二光波导、至少一对第二突起件、以及第二图案,第二图案和第一图案彼此焊接,所述至少一对第二突起件的侧面分别与一对第一突起件的侧面接触。
附图说明
图1A是例示了根据本发明的实施方式的光器件的构造的立体图;
图1B是根据实施方式的光器件的分解立体图;
图2是例示了实施方式中的两对突起件的侧面与一对突起件的侧面之间的接触状态的图;
图3是根据突起件的制造精度的光波导部件的位置位移的影响的说明图;
图4A是电极图案的位置的说明图;
图4B是电极图案的位置的说明图;
图5是根据实施方式的光器件的制造方法的说明图;
图6是例示了根据修改例的两对突起件和一对突起件的图;以及
图7是例示了根据应用例的光器件的构造的图。
具体实施方式
将参照附图说明本发明的优选实施方式。所公开的技术不限于实施方式。
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