[发明专利]一种纳米级微动机构和测量仪器

权利要求书

1.一种纳米级微动机构，其特征在于，包括螺杆和柔性金属框架，所述柔性金属框架包括第一端块、第二端块和两个柔性片，每个柔性片的两端分别与所述第一端块和所述第二端块连接，两个所述柔性片间隔设置，且两个所述柔性片分别与所述螺杆螺接，转动所述螺杆令两个所述柔性片相互远离或者靠近；

所述柔性片包括第一片和第二片，所述第一片与所述第一端块连接，所述第二片与所述第二端块连接，所述第一片远离所述第一端块的一端与所述第二片连接，所述第一片与所述第二片的连接处设置有螺纹孔，所述螺杆螺接于所述螺纹孔，所述第一片和所述第二片倾斜设置，两个所述第一片的距离沿所述第一端块朝向所述第二端块的方向逐渐变大，两个所述第二片的距离沿所述第二端块朝向所述第一端块的方向逐渐变大。

2.根据权利要求1所述的纳米级微动机构，其特征在于，所述螺杆包括第一杆和第二杆，所述第一杆和所述第二杆同轴设置，所述第一杆和所述第二杆上分别设置有螺纹，所述第一杆上的螺纹旋向与所述第二杆上的螺纹旋向相同，且所述第一杆上的螺纹的螺距与所述第二杆上的螺纹的螺距不同，所述第一杆和所述第二杆分别与两个所述柔性片螺接。

3.根据权利要求2所述的纳米级微动机构，其特征在于，所述第一杆的直径大于所述第二杆的直径。

4.根据权利要求1所述的纳米级微动机构，其特征在于，所述第一片的宽度沿所述第一端块朝向所述第二端块的方向逐渐减小，所述第二片的宽度沿所述第二端块朝向所述第一端块的方向逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的纳米级微动机构，其特征在于，所述第一片与所述第一端块的连接处设置有倒角，所述第二片与所述第二端块的连接处设置有倒角。

6.根据权利要求1所述的纳米级微动机构，其特征在于，所述第一片与所述第二片的连接处设置有刚性螺块，所述刚性螺块呈柱形，所述第一片和所述第二片沿所述刚性螺块的轴心线对称设置，所述螺纹孔设置于所述刚性螺块，所述螺纹孔与所述刚性螺块同轴设置。

7.根据权利要求1所述的纳米级微动机构，其特征在于，所述柔性金属框架采用一体成型技术制成。

8.一种测量仪器，其特征在于，包括底座、驱动电机、固定测杆、固定测片、活动测片和如权利要求1至7任一项所述的纳米级微动机构，所述固定测杆和所述纳米级微动机构分别安装于所述底座，所述第二端块与所述底座固定连接，所述第一端块朝向所述固定测杆设置，所述固定测杆的一端安装于所述底座，所述固定测杆的另一端朝向所述第一端块设置，所述固定测杆与所述第一端块之间形成测微间隙；所述固定测片和所述活动测片均位于所述测微间隙内，所述固定测片安装于所述固定测杆，所述活动测片安装于所述第一端块，所述固定测片与所述活动测片间隔设置，所述驱动电机驱动连接所述螺杆。