[发明专利]一种用于超高温真空烧结炉的多级捕尘装置

说明书

本发明提供了一种用于超高温真空烧结炉的多级捕尘装置，包括密闭外壳、进气管、挡气板、若干个第一圆台状管、若干个第二圆台状管以及第三圆台状管；本申请利用进气管、挡气板、第一圆台状管、第二圆台状管以及第三圆台状管在密闭外壳中围出了一个多拐向曲折的气体流通通道，气体在该气体流通通道中流通时遭遇多次阻挡碰撞，在多次阻挡碰撞过程中气体中的粉尘从气体中分离出来，最终脱除粉尘后的气体排出密闭外壳，分离出来的粉尘积聚在密闭外壳中，从而实现了对从超高温真空烧结炉排出的气体的捕尘净化，使得进入真空泵中的气体中的粉尘量大大减少，减少甚至避免了粉尘对真空泵的影响。

技术领域

本发明涉及炭材料高温烧结设备技术领域，尤其是涉及一种用于超高温真空烧结炉的多级捕尘装置。

背景技术

炭材料的超高温真空烧结炉是在真空环境下对石墨零件、炭毡、固化毡等炭材料进行超过2000℃超高温处理的一种烧结设备，广泛应用于光伏行业单晶、动力燃料电池、正负极材料、半导体行业、碳化硅、蓝宝石行业、核电站、航空航天及新材料的开发。

由于炭材料在超高温真空烧结炉中进行烧结处理过程中会产生大量的粉尘，是极细微(nm级)的粉尘，通常使用螺杆真空泵抽出，粉尘进入螺杆真空泵的泵腔，会沉积在螺杆真空泵的转子上，造成螺杆真空泵产生故障，无法长时间稳定正常工作；如果使用有油真空泵，则粉尘会污染泵油，泵油频繁更换，运行成本大幅增加。

因此，如何提供一种捕尘装置，减少甚至避免粉尘对真空泵的影响，是目前本领域技术人员亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于超高温真空烧结炉的多级捕尘装置。

为解决上述问题，本发明采用如下技术方案：

一种用于超高温真空烧结炉的多级捕尘装置，包括密闭外壳、进气管、挡气板、若干个第一圆台状管、若干个第二圆台状管以及第三圆台状管；

所述密闭外壳的顶壁面上设置有总进气管与总出气管；

所述进气管、挡气板、若干个第一圆台状管、若干个第二圆台状管以及第三圆台状管均设置于所述密闭外壳中的空腔中；

所述第一圆台状管、第二圆台状管以及第三圆台状管均为圆台状外形薄壁管；

所述若干个第一圆台状管套设于所述进气管上，所述第一圆台状管的细管口在上粗管口在下，且所述第一圆台状管的细管口与所述进气管的外壁面密封连接；

所述若干个第二圆台状管设置于所述密闭外壳的内壁面上，所述第二圆台状管的细管口在下粗管口在上，且所述第二圆台状管的粗管口与所述密闭外壳的内壁面密封连接，所述进气管从所述若干个第二圆台状管中穿过，所述若干个第二圆台状管的细管口的内径大于所述进气管的外径；

所述若干个第一圆台状管与所述若干个第二圆台状管沿所述密闭外壳的上下轴向中心线从上到下交替布置，且所述第一圆台状管位于最上方的初始位，位于上方的所述第一圆台状管的粗管口的外径小于位于其紧邻下方的第二圆台状管的粗管口的内径且位于上方的所述第一圆台状管的粗管口的内径大于位于其紧邻下方的第二圆台状管的细管口的内径，位于上方的所述第二圆台状管的细管口的内径大于其紧邻下方的第一圆台状管的细管口的外径且小于位于其紧邻下方的第一圆台状管的粗管口的外径；

所述第三圆台状管设置于所述密闭外壳的内壁面上且位于最下方的第一圆台状管的下方，所述第三圆台状管的细管口在下粗管口在上，且所述第三圆台状管的粗管口与所述密闭外壳的内壁面密封连接，所述进气管从所述第三圆台状管中穿过，所述第三圆台状管的细管口的内径大于所述进气管的外径；

所述挡气板套设于所述进气管上且位于所述第三圆台状管的下方，所述挡气板的外径小于所述第三圆台状管的细管口的内径；

所述进气管的顶端进气口与所述密闭外壳上的总进气管密封连通，所述进气管的底端出气口自由敞口且位于所述挡气板的下方。