[发明专利]一种精密球表面制备沉积改性涂层的装置及方法有效
| 申请号： | 201810058779.0 | 申请日： | 2018-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN108300972B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 张传伟;古乐;解志杰;汪剑云;王黎钦;郑德志;赵小力;马欣新 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 范光晔 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精密球 旋转工作台 摆动装置 表面制备 球形体 沉积改性 旋转圆盘 底座 支承滚动体 带动旋转 底座连接 来回转动 连续转动 螺纹连接 球形关节 运动轨道 整体表面 转动装置 螺栓 滚动体 中心轴 摆动 溅射 自转 离子 转动 | ||
1.一种精密球表面制备沉积改性涂层的装置，其特征在于，所述精密球表面制备沉积改性涂层的装置包括带斜面底座(1)、中心轴(2)、支承滚动体(3)、滚动体保持环(4)、旋转圆盘(5)、球形体摆动装置(6)、球形关节(7)和螺栓(9)，
中心轴(2)为固定轴，带斜面底座(1)为旋转工作台且绕中心轴(2)旋转；旋转圆盘(5)通过螺栓(9)与带斜面底座(1)相连接，球形关节(7)与中心轴(2)通过螺纹连接；支承滚动体(3)放置在带斜面底座(1)上斜面的滚道里，滚动体保持环(4)放置在支承滚动体(3)的两侧；球形体摆动装置(6)安装在球形关节(7)上，同时球形体摆动装置(6)的下端平面与支承滚动体(3)接触，通过斜面支承滚动体(3)将带斜面底座(1)的旋转运动转换为圆周方向的波浪运动并传递给球形体摆动装置(6)。
2.一种精密球表面制备沉积改性涂层的方法，其特征在于，所述精密球表面制备沉积改性涂层的方法的具体步骤为：
步骤一：将滚动体保持环(4)放置在旋转工作台底座(1)上，将多个直径D相同的支承滚动体(3)放置在滚动体保持环(4)中，然后将连接有球形体摆动装置(6)的球形关节(7)与中心轴(2)通过螺纹连接；
步骤二：将旋转圆盘(5)通过螺栓与旋转工作台底座(1)连接，将精密球(8)放置在旋转圆盘(5)和球形体摆动装置(6)交接处的运动轨道内；
步骤三：旋转工作台底座(1)带动旋转圆盘(5)旋转，使精密球(8)绕z轴自转；同时旋转工作台底座(1)上的斜面带动球形体摆动装置(6)反复摆动，使精密球(8)绕y轴来回转动，通过这两个方向的自由转动实现精密球(8)的随机转动；
步骤四：在精密球(8)随机转动时，使用表面离子注入沉积法或磁控溅射法在精密球(8)表面制备均匀厚度的改性涂层，直至达到要求。
3.根据权利要求2所述的一种精密球表面制备沉积改性涂层的方法，其特征在于，精密球(8)表面制备不同材料的改性涂层。
4.根据权利要求2所述的一种精密球表面制备沉积改性涂层的方法，其特征在于，所述制备均匀厚度的改性涂层时，通过分析不同的工艺参数和精密球(8)的运动参数对改性涂层性能的影响，选择不同材料的精密球表面不同改性涂层制备的最佳参数。
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