[发明专利]预涂布装置及方法在审
| 申请号: | 201810050102.2 | 申请日: | 2018-01-18 |
| 公开(公告)号: | CN108212616A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
| 发明(设计)人: | 李威 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | B05B15/50 | 分类号: | B05B15/50;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;王中华 |
| 地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 第一槽 清洗槽 出液管道 清洗液 预涂布 预涂 进液管道 第二槽 分隔板 室内 出液口 刮刀 膜材 洁净状态 辊接触 进液口 侧壁 刮落 推入 分隔 残留 | ||
1.一种预涂布装置,其特征在于,包括:清洗槽(1)、预涂辊(2)、第一进液管道(3)、第一出液管道(4)、第二出液管道(5)及第一刮刀(7);
所述清洗槽(1)内设有分隔板(101),所述分隔板(101)将所述清洗槽(1)分隔为第一槽室(12)和第二槽室(13),所述分隔板(101)的高度小于所述清洗槽(1)的高度;
所述第一进液管道(3)接入所述第一槽室(12)的进液口;所述第一出液管道(4)及第二出液管道(5)分别接入第一槽室(12)的出液口和第二槽室(13)的出液口;
所述预涂辊(2)设于所述清洗槽(1)内且与所述第一槽室(12)内的清洗液接触,所述第一刮刀(7)设于所述第一槽室(12)的侧壁上且与所述预涂辊(2)接触。
2.如权利要求1所述的预涂布装置,其特征在于,还包括:第二刮刀(8),所述第二刮刀(8)设于所述第二槽室(13)的侧壁上且与所述预涂辊(2)接触。
3.如权利要求1所述的预涂布装置,其特征在于,还包括:进液阀(9),所述进液阀(9)包括:进口及第一出口,所述进口接入清洗液,所述第一出口与所述第一进液管道(3)相连。
4.如权利要求3所述的预涂布装置,其特征在于,还包括:第一出液阀(10)和第二出液阀(11),所述第一出液阀(10)和第二出液阀(11)分别设于所述第一出液管道(4)及第二出液管道(5)上。
5.如权利要求1所述的预涂布装置,其特征在于,所述预涂布装置安装于涂布机台上。
6.如权利要求5所述的预涂布装置,其特征在于,所述涂布机台包括:基板载台(100)及设于所述基板载台(100)上方的涂布喷头(200),所述预涂布装置安装于所述基板载台(100)的一侧。
7.如权利要求2所述的预涂布装置,其特征在于,所述第一刮刀(7)和第二刮刀(8)均与所述预涂辊(2)的外周面相切。
8.一种预涂布方法,其特征在于,应用于如上述权利要求1至7任一项所述的预涂布装置,包括如下步骤:
在所述预涂辊(2)上进行预涂布;
所述预涂辊(2)旋转,所述第一刮刀(7)将预涂布到所述预涂辊(2)上的膜材刮落到所述第一槽室(12),同时所述第一进液管道(3)向第一槽室(12)内不停通入新的清洗液,以将所述第一槽室(12)内含有被刮落的膜材的清洗液推入第二槽室(13);
完成一次预涂布后,关闭第一进液管道(3),打开所述第二出液管道(5)排空所述第二槽室(13)。
9.如权利要求8所述的预涂布方法,其特征在于,还包括:
按照预设的换液条件,打开第一出液管道(4)排空所述第一槽室(12)。
10.如权利要求9所述的预涂布方法,其特征在于,所述预设的换液条件为所述预涂布装置到达预设的工作时长或完成了预设次数的预涂布。
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