[发明专利]有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法有效
申请号: | 201810003132.8 | 申请日: | 2018-01-02 |
公开(公告)号: | CN108237119B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 胡长奇;王梦帝 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B15/04 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 蒸发 清理 设备 系统 及其 方法 | ||
本发明是关于一种有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法,涉及有机源清理技术领域,主要解决的技术问题是在短时间内,人为机械式对有机源蒸发孔清理,难以将蒸发孔的内壁清理干净。主要采用的技术方案为:有机源蒸发孔清理设备的清理方法包括:驱动部件驱动扣压部件至第一位置,使扣压部件扣合于有机源的蒸发孔,使蒸发状态的蒸发孔升压;驱动部件驱动扣压部件至第二位置,使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离,在蒸发孔内部高压的作用下,蒸发孔内壁附着的堵塞物质会被高压气流疏散,相对于现有技术中机械式的清理方式,可提高蒸发孔内壁的清理效率。
技术领域
本发明涉及有机源清理技术领域,特别是涉及一种有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法。
背景技术
OLED(Organic Light-EmittingDiode,有机发光二极管)显示装置多需要采用有机源进行蒸镀工艺制备,蒸镀工艺中,可采用多种材料进行混合蒸镀,以改善载流子的注入、提高传输能力,可增加其发光效率、使用寿命等。
有机源的蒸发孔孔径通常较小,有机源在进行蒸镀工艺之后,在蒸发孔的内壁上很容易堆积升华型材料,致使蒸发孔发生堵塞。
目前采用的蒸发孔的清理方法主要是,通过机械式插杆插入蒸发孔中对蒸发孔内壁进行清理,清理过程中,在短时间内,人为使用插杆难以将蒸发孔的内壁清理干净。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法,主要解决的技术问题是在短时间内,人为机械式对有机源蒸发孔清理,难以将蒸发孔的内壁清理干净。
为达到上述目的,本发明主要提供如下技术方案:
一方面,本发明的实施例提供一种有机源蒸发孔清理设备,包括:
扣压部件,用于扣合于有机源的蒸发孔;
驱动部件,其驱动端与所述扣压部件连接,以驱动所述扣压部件在第一位置和第二位置之间的移动。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
可选的,前述的有机源蒸发孔清理设备,其中扣压部件包括第一端开口的套筒,所述套筒的内径尺寸大于有机源蒸发孔的内径尺寸。
可选的,前述的有机源蒸发孔清理设备,其中所述套筒包括保温材质制备的第一筒。
可选的,前述的有机源蒸发孔清理设备,其中所述套筒的内壁设置有材料收集器。
可选的,前述的有机源蒸发孔清理设备,其中所述材料收集器包括设置在套筒的内壁的针刺或挂片。
可选的,前述的有机源蒸发孔清理设备,其中所述针刺或挂片的端部朝向套筒的第二端倾斜。
可选的,前述的有机源蒸发孔清理设备,其中还包括:
压力传感器,其压力检测端位于所述套筒内。
另一方面,本发明的实施例提供一种有机源系统,包括:
有机源,其上设置有蒸发孔;
清理设备,采用上述的有机源蒸发孔清理设备;
当扣压部件在第一位置,扣压部件扣合于有机源的蒸发孔;
当扣压部件在第二位置,扣压部件扣合与有机源的蒸发孔分离。
再一方面,本发明的实施例提供一种有机源蒸发孔清理设备的清理方法,包括:
驱动部件驱动扣压部件至第一位置,使扣压部件扣合于有机源的蒸发孔,使蒸发状态的蒸发孔升压;
驱动部件驱动扣压部件至第二位置,使扣压部件从扣合于有机源的蒸发孔的位置分离。
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