[发明专利]用于以液态溶液或以气体形式产生氧和/或氮的活性簇的方法和设备

权利要求书

1.一种用于产生活性的氧或氮簇的方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤：

-将气体混合物供给至等离子体溅射装置(24)的电离室，所述气体混合物包括氧气和/或氧气的同素异形体，

-在所述电离室内，将所述气体混合物转变为包含所述活性的氧或氮簇的等离子体，

-通过使所述等离子体穿过设置在所述等离子体溅射装置(24)的靶材中的孔，来从所述电离室取出所述等离子体，其中所述靶材由于下述事实不会溅射原子：所述等离子体溅射装置(24)在阈值能级以下运行，在所述阈值能级以下，与轰击所述靶材的电子相关联的能量不允许溅射过程，

-将包含所述活性的氧或氮簇的所述等离子体供给至半透膜过滤器(14)的气体侧(14b)，所述半透膜过滤器被布置成在流体侧(14a)处供给有用于可注射溶液的流体，使得存在于所述等离子体中的所述活性的氧或氮簇能够穿过膜(14c)与所述用于可注射溶液的流体成为溶液，溶液中的所述用于可注射溶液的流体与所述活性的氧或氮簇在所述半透膜过滤器的输出端处被收集并运送。

2.根据权利要求1所述的用于产生活性的氧或氮簇的方法，其特征在于，所述气体混合物包括仅氧气，或者所述气体混合物还包括：氮气和/或氧气的同素异形体；和/或氮气的同素异形体；和/或惰性气体；以及任何其他杂质。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在进入所述电离室之前，使所述气体混合物经过能够对气体分子进行定向的电场。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，使所述等离子体在所述电离室的输出端处经过电磁分离元件(251)，所述电磁分离元件根据从所述等离子体溅射装置(24)出来的分子的电荷将所述分子分离。

5.一种用于产生活性的氧或氮簇的设备(10)，其特征在于，所述设备提供了：

-气体输送回路(12)，所述气体输送回路包括：

-等离子体溅射装置(24)，

-气体混合物供应装置(23)，所述气体混合物供应装置用于将包含氧气的气体混合物在受控的压力下供给至所述等离子体溅射装置(24)的电离室，以形成等离子体-ROS，以及

-等离子体收集装置(25)，所述等离子体收集装置用于从所述电离室收集所述等离子体-ROS；

-流体输送回路(11)，所述流体输送回路包括：

-流体储存器(13)，所述流体储存器用于容纳用于可注射溶液的流体，

-半透膜过滤器(14)，

-沿着所述流体输送回路(11)布置的至少一个蠕动泵(15)，所述蠕动泵用于将用于可注射溶液的流体从所述流体储存器(13)供给至所述半透膜过滤器(14)的流体侧(14a)，并且从所述半透膜过滤器(14)的所述流体侧(14a)供给至弹性件(19)

所述气体输送回路(12)的所述等离子体收集装置(25)被布置成将所述等离子体-ROS供给至所述半透膜过滤器(14)的气体侧(14b)。

6.根据权利要求5所述的用于产生活性的氧或氮簇的设备(10)，其特征在于，所述气体输送回路(12)包括氧气源(21)，所述气体混合物供应装置(23)适于从所述氧气源(21)取出气体并将所述气体供给至所述等离子体溅射装置(24)的所述电离室中。

7.根据权利要求6所述的用于产生活性的氧或氮簇的设备(10)，其特征在于，所述气体输送回路(12)包括同素异形气体混合物生成器(22)，所述同素异形气体混合物生成器被设置成由所述氧气源(21)供应氧气并且向所述气体混合物供应装置(23)供应同素异形氧气混合物。

8.根据权利要求5或6所述的用于产生活性的氧或氮簇的设备，其特征在于，所述气体输送回路(12)包括布置在所述等离子体溅射装置(24)的所述电离室的入口之前的电场生成元件(231)，使所述气体混合物经过由所述电场生成元件(231)生成的、能够对所述气体混合物的气体分子进行定向的电场。