[发明专利]等离子体用电源装置、等离子体装置及等离子体用电源装置的控制方法

权利要求书

1.一种等离子体用电源装置，具有：

交流电源，生成经由无屏蔽的电源线束向产生等离子体的一对电极施加的预定频率的交流电压；及

控制部，以所述电源线束越长则频率越低的方式设定所述交流电源的所述预定频率。

2.根据权利要求1所述的等离子体用电源装置，其中，

所述电源线束为了使布线长变化而一部分乃至全部能够更换且具有挠性，并且包括作为一对芯的导体。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体用电源装置，其中，

所述控制部将所述预定频率控制在9kHz以下的范围。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的等离子体用电源装置，其中，

所述电源线束越长，则所述控制部使电压波形的上升越快。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的等离子体用电源装置，其中，

所述电源线束越长，则所述控制部使向所述一对电极施加的电压越高。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的等离子体用电源装置，其中，

所述交流电源具有：

对正负各多个脉冲电压波形的占空比可变地进行调整并输出的脉冲宽度调制电源；及

使所述正负各多个脉冲电压波形平滑而成为所述交流电压的平滑电路。

7.一种等离子体装置，

具备权利要求1～6中任一项所述的等离子体用电源装置，

通过使所述电源线束弯曲，所述一对电极能够相对于所述交流电源相对移动。

8.一种等离子体用电源装置的控制方法，控制具有交流电源的等离子体用电源装置，所述交流电源生成经由无屏蔽的电源线束向产生等离子体的一对电极施加的预定频率的交流电压，

所述等离子体用电源装置的控制方法具有以所述电源线束越长则频率越低的方式设定所述交流电源的所述预定频率的工序。