[发明专利]柔性OLED器件的制造方法以及制造装置

说明书

根据本公开的柔性OLED器件的制造方法，在对层叠构造体(100)的树脂膜(30)的中间区域(30i)和柔性基板区域(30d)进行了分割后，通过激光照射柔性基板区域(30d)与玻璃基座(10)之间的界面。在使层叠构造体(100)接触了台部(210)的状态下，将层叠构造体(100)分离为第一部分(110)和第二部分(120)。第一部分(110)包括与台部(210)接触的多个OLED器件(1000)，OLED器件(1000)具有多个功能层区域(20)和柔性基板区域(30d)。第二部分(120)包括玻璃基座(10)和中间区域(30i)。通过激光照射的工序包括以下工序，即，从排列的多个激光源形成上述激光，使激光对中间区域(30i)与玻璃基座(10)之间的界面的至少一部分的照射强度比激光对柔性基板区域(30d)与玻璃基座(10)之间的界面的照射强度降低。

技术领域

本公开涉及柔性OLED器件的制造方法以及制造装置。

背景技术

柔性显示器的典型例具备由聚酰亚胺等合成树脂形成的薄膜(以下称为“树脂膜”)、被树脂膜支承的TFT(Thin Film Transistor)以及OLED(Organic Light EmittingDiode)等元件。树脂膜作为柔性基板发挥功能。构成OLED的有机半导体层容易由于水蒸气而劣化，因此柔性显示器由气体阻挡膜(密封用薄膜)密封。

上述的柔性显示器的制造使用树脂膜形成于上表面的玻璃基座进行。玻璃基座在制造工序中作为将树脂膜的形状维持为平面状的支承体(载体)发挥功能。通过在树脂膜上形成TFT以及OLED等元件以及气体阻挡膜等，从而在被玻璃基座支承的状态下实现柔性OLED器件的构造。其后，将柔性OLED器件从玻璃基座剥离，获得柔软性。能够将排列有TFT以及OLED等元件的部分作为整体称为“功能层区域”。

根据现有技术，在从玻璃基座剥离了包括多个柔性OLED器件的片状的构造物后，相对于该片状的构造物进行光学部件等的安装。其后，从片状的构造物分割多个柔性器件。该分割例如通过激光束的照射来进行。

专利文献1公开为了将各个柔性OLED器件从玻璃基座(支承基板)剥离而通过激光(剥离光)照射各个柔性OLED器件与玻璃基座之间的界面的方法。根据专利文献1公开的方法，在剥离光照射后，分割成各个柔性OLED器件，将各个柔性OLED器件从玻璃基座剥离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2014-48619号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

根据现有的制造方法，在包括多个柔性OLED器件的片状的构造物安装了例如密封薄膜、偏振板以及/或者散热片等高价的部件后，进行基于激光束的照射的分割，因此通过激光束的照射而分割的不需要部分即最终没有构成OLED器件的部分完全是浪费的。另外，也存在以下课题，即，在从玻璃基座剥离后，不易处理不具有刚性的多个柔性OLED器件。

本公开提供能够解决上述课题的柔性OLED器件的制造方法以及制造装置。

解决问题的方案