[发明专利]OLED面板的制造方法、OLED面板、OLED面板的制造装置

说明书

本发明提供一种OLED面板的制造方法，其在透光性基板的上表面侧形成包括树脂层(12)、TFT层(4)、OLED层(5)和具有有机密封膜(27)的密封层的层叠体后，向与上述透光性基板接触的树脂层照射激光而将上述透光性基板与上述层叠体分离，其中，上述树脂层包含被照射第一强度(P1)的激光的第一区域(X)和被照射比上述第一强度大的第二强度(P2)的激光的第二区域(Y)，上述第一区域与有机密封膜(27)重叠，上述第二区域与上述有机密封膜(27)不重叠。

技术领域

本发明涉及OLED面板。

背景技术

专利文献1中记载有在透光性的支承基板上形成包含OLED层的层叠体后，从支承基板侧照射激光，使支承基板与层叠体分离的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开特许公报“特开2015-195140号公报(2015年11月5日公开)”。

发明内容

发明要解决的技术问题

存在当如上所述将层叠体从支承基板分离时，层叠体产生褶皱、卷曲这样的问题。

用于解决技术问题的手段

本发明的一个方式涉及的OLED面板的制造方法，在透光性基板的上表面侧形成包括树脂层、TFT层、OLED层和包含有机密封膜的密封层的层叠体后，向与上述透光性基板接触的上述树脂层照射激光而将上述透光性基板与上述层叠体分离，其中，上述树脂层包含被照射第一强度的激光的第一区域和被照射比上述第一强度大的第二强度的激光的第二区域，上述第一区域与上述有机密封膜重叠，上述第二区域与上述有机密封膜不重叠。

发明效果

根据本发明的一个方式，能够降低从透光性基板分离后的层叠体产生褶皱、卷曲的可能性。

附图说明

图1是表示实施方式1的OLED面板的制造方法的一例的流程图。

图2是表示在玻璃基板(母玻璃)上形成的多个层叠体的剖面图(a)和俯视图(b)。

图3是表示图2的各层叠体的结构例的剖面图。

图4是表示实施方式1的激光的照射和玻璃基板的剥离的示意图。

图5是表示实施方式1的每个区域的激光的强度的俯视图。

图6是表示实施方式2的激光的照射和玻璃基板的剥离的示意图。

图7是表示实施方式2的每个区域的激光的强度的俯视图。

图8是表示实施方式2的变形例的俯视图。

图9是表示实施方式3的激光的照射和玻璃基板的剥离的示意图。

图10是表示实施方式3的每个区域的激光的强度的俯视图。

图11是表示由本实施方式得到的OLED面板的结构的剖面图(a)、(b)和俯视图(c)。

具体实施方式

图1是表示实施方式1的OLED面板的制造方法的一例的流程图，图2是表示在作为母玻璃的玻璃基板上形成的多个层叠体的剖面图(a)和俯视图(b)，图3是表示各层叠体的结构例的剖面图。