[发明专利]元件安装装置及基板的保持方法

权利要求书

1.一种元件安装装置，具备：

保持板，对搭载元件的基板进行吸附并保持；及

搭载头，向所述基板搭载所述元件，其中，

所述搭载头在所述保持板吸附并保持所述基板的过程中能够向所述保持板按压所述基板，

所述元件安装装置还具备控制部，在所述保持板中检测到所述基板的吸附不充分的吸附错误的情况下，所述控制部进行向所述基板按压所述搭载头的一次矫正处理。

2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述搭载头包括能够按压所述基板的预定位置的吸嘴。

3.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述控制部通过比较所述保持板对所述基板进行吸引时的压力与所述保持板适当地吸引了基板时的压力来检测由基板的翘曲引起的吸附错误。

4.根据权利要求1或3所述的元件安装装置，其中，

所述控制部在所述一次矫正处理中通过所述搭载头间歇地按压所述基板的外缘部的多个部位。

5.根据权利要求4所述的元件安装装置，其中，

在所述一次矫正处理中检测到所述吸附错误的消除的情况下，所述控制部结束所述搭载头对所述基板的按压。

6.根据权利要求5所述的元件安装装置，其中，

所述控制部包括存储部，所述存储部存储检测到通过由所述搭载头按压所述基板而消除了所述吸附错误时的按压位置，

在解除所述保持板对于所述基板的吸附保持时，所述控制部进行如下的基板固定解除处理：由所述搭载头按压所述存储部存储的所述按压位置，并将所述搭载头从所述基板缓慢地拉开。

7.根据权利要求1、3、5、6中任一项所述的元件安装装置，其中，

所述控制部包括存储部，所述存储部存储搭载于所述基板的所述元件的搭载位置，

在所述搭载头预定按压所述基板的按压预定位置与所述元件的搭载位置重复的情况下，中止所述搭载头对于与所述搭载位置重复的所述按压预定位置的按压。

8.根据权利要求4所述的元件安装装置，其中，

所述控制部包括存储部，所述存储部存储搭载于所述基板的所述元件的搭载位置，

在所述搭载头预定按压所述基板的按压预定位置与所述元件的搭载位置重复的情况下，中止所述搭载头对于与所述搭载位置重复的所述按压预定位置的按压。

9.根据权利要求7所述的元件安装装置，其中，

在所述按压预定位置与所述搭载位置重复的情况下，所述控制部将与所述按压预定位置和所述搭载位置相邻的位置决定为能够由所述搭载头按压的代替位置。

10.根据权利要求8所述的元件安装装置，其中，

在所述按压预定位置与所述搭载位置重复的情况下，所述控制部将与所述按压预定位置和所述搭载位置相邻的位置决定为能够由所述搭载头按压的代替位置。

11.一种基板的保持方法，是具备对搭载元件的基板进行吸附并保持的保持板和向所述基板搭载所述元件的搭载头的元件安装装置中的基板的保持方法，其中，

在所述保持板对所述基板进行吸附并保持的过程中，通过所述搭载头向所述保持板按压所述基板，

在所述保持板中检测到所述基板的吸附不充分的吸附错误的情况下，进行向所述基板按压所述搭载头的一次矫正处理。