[发明专利]用于校正激光光谱仪的光波和调谐范围的方法有效
申请号: | 201780079968.X | 申请日: | 2017-12-22 |
公开(公告)号: | CN110100170B | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·德彭霍伊尔 | 申请(专利权)人: | 西门子股份公司 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01N21/27;G01N21/39;G01J3/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张英 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 校正 激光 光谱仪 光波 调谐 范围 方法 | ||
1.一种用于校正激光光谱仪的波长和调谐范围的方法,其中,在透射过气体(1、18)以后,探测并评估波长可调谐的激光二极管(3)的光(4),其中,利用电流斜坡(9)周期性地驱控所述激光二极管(3),从而在探测所述光(4)时获得所述气体(1、18)的按时间解析的吸收光谱,其中,
-在当前获得的吸收光谱中,将所述气体(1、18)的吸收谱线(22)的实际位置与同一吸收谱线(22)在上一次校准所述激光光谱仪时探测并存储的应定位置进行比较,以及
-在校正步骤中,在所述吸收谱线(22)的所述实际位置与所述应定位置有偏差时,改变所述激光二极管(3)的温度,直到实际位置对应于所述应定位置,
其特征在于,
-在当前获得的吸收光谱中,将另一吸收谱线(24)的实际位置与同一吸收谱线(24)在上一次校准所述激光光谱仪时探测并存储的应定位置进行比较,并且
-在另一校正步骤中,在所述另一吸收谱线(24)的所述实际位置与所述另一吸收谱线的所述应定位置有偏差时,改变所述电流斜坡(9)的斜度,直到实际位置对应于所述应定位置。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,重复地依次实施所述校正步骤和所述另一校正步骤。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述校正步骤和所述另一校正步骤的实施取决于,在应定位置与实际位置之间的相应偏差超过预设的阈值。
4.根据前述权利要求任一项所述的方法,其特征在于,
所述电流斜坡(9)由具有线性项和至少一个非线性项的电流时间函数形成,
在当前获得的吸收光谱中,将位于所述吸收谱线和所述另一吸收谱线(22、24)之间的至少一个额外吸收谱线(23)的实际位置与同一吸收谱线(23)在上一次校准激光光谱仪时探测并存储的应定位置进行比较,并且
在紧跟于所述另一校正步骤的附加校正步骤中,在至少一个所述额外吸收谱线(23)的实际位置与所述额外吸收谱线的应定位置有偏差时,改变所述至少一个非线性项,直到实际位置对应于应定位置。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其特征在于,用于校正所述激光光谱仪的波长和调谐范围的吸收谱线(22、23、24)中的至少一个吸收谱线是测量气体混合物(1)的气体组分的所选择的吸收谱线,其中,通过评估所涉及的气体组分的吸收谱线来确定所述测量气体混合物(1)的同一关注气体组分或者另一关注气体组分的浓度。
6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,用于校正所述激光光谱仪的波长和调谐范围的吸收谱线(22、23、24)中的至少一个吸收谱线是测量气体混合物(1)的气体组分的所选择的吸收谱线,其中,通过评估所涉及的气体组分的吸收谱线来确定所述测量气体混合物(1)的同一关注气体组分或者另一关注气体组分的浓度。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其特征在于,用于校正所述激光光谱仪的波长和调谐范围的吸收谱线(22、23、24)中的至少一个吸收谱线是参考气体或者参考气体混合物(18)的所选择的吸收谱线。
8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,用于校正所述激光光谱仪的波长和调谐范围的吸收谱线(22、23、24)中的至少一个吸收谱线是参考气体或者参考气体混合物(18)的所选择的吸收谱线。
9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,同时透射所述参考气体或所述参考气体混合物(18)以及测量气体混合物(1)。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述参考气体或所述参考气体混合物(18)和所述测量气体混合物(1)在同一光路上前后依次地被透射,从所述参考气体或所述参考气体混合物(18)射出的光的部分借助于分光器(19)从通向所述测量气体混合物(1)的光路中退耦,并且被单独地探测。
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