[发明专利]调芯方法

说明书

在激光器振荡器(10)与光纤(30)之间具有调芯机构(20)。从激光器振荡器(10)射出的激光(11)经由调芯机构(20)从光纤(30)的射出端(32)射出。激光评价装置(200)具有CCD相机(100)，在CCD相机(100)的受光面接受激光(11)的一部分，取得光强度分布。基于该光强度分布，由调芯机构(20)进行激光器振荡器(10)与光纤(30)之间的调芯。

技术领域

本发明涉及激光器加工装置等中的激光器振荡器与光纤之间的调芯方法。

背景技术

过去已知以光纤对来自气体激光器或固体激光器等的激光器振荡器的射出光进行导波来进行工件的焊接或加工的激光器加工装置。

为了提高激光器振荡器与光纤的结合效率来确保加工所用的激光的输出，通常在激光器振荡器与光纤之间进行调芯。

过去提出如下那样的技术：使来自激光器振荡器的射出光经由聚光透镜等光学构件入射到光纤的一个端面，用功率计或受光元件等测定从另一方射出的光的输出，调整聚光透镜的位置等以使该输出成为最大，来进行调芯(例如参考专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开平08-167754号公报

发明内容

近年来，对加工精度的要求变得严格，照射到工件的激光束的形状控制变得重要。

然而，激光束的功率成为最大的聚光透镜的位置和激光束的形状成为最优的聚光透镜的位置不一定一致。因此，若在前者的位置将聚光透镜固定而结束调芯，就有可能得不到所期望的激光束形状。另外，其结果，有可能发生调芯作业的重新进行等，从而降低作业效率。

本发明的一个方式鉴于相关问题而提出，其目的在于，提供基于激光束的光强度分布的监视结果来进行调芯的方法。

为了实现上述目的，在本发明的一个方式中，基于调芯中所用的受光部的受光面上的光强度分布来进行激光器振荡器与光纤之间的调芯。

具体地，本发明的一个方式所涉及的调芯方法是使用激光评价装置在激光器振荡器与光纤之间进行调芯的方法，在激光器振荡器与光纤之间设置调芯机构，激光评价装置具有在受光面上接受从光纤射出的激光的受光部，该调芯方法具备：在受光部的受光面上接受从激光器振荡器射出并经由调芯机构在光纤被导波的激光的步骤；和基于在受光部的受光面上接受的激光的光强度分布，由调芯机构进行激光器振荡器与光纤之间的调芯的步骤。

根据该方法，由于基于在受光面上接受的激光的光强度分布来进行激光器振荡器与光纤之间的调芯，因此能够提高调芯精度，并且能够使最终输出的激光的形状良好。

优选地，进行激光器振荡器与光纤之间的调芯，使得从受光面上的光强度分布导出的从光纤射出的激光的数值孔径成为最小。

根据该方法，由于进行激光器振荡器与光纤之间的调芯，使得从受光面上的光强度分布导出的数值孔径成为最小，因此能将最终输出的激光的光斑直径缩小到所期望的大小。

优选地，光纤是双包层光纤，基于在受光面上的光强度分布中出现的2次峰值的位置来进行激光器振荡器与光纤之间的调芯。

根据该方法，能够提高激光器振荡器与双包层光纤之间的调芯精度，并且能够使最终输出的激光的形状良好。

优选地，上述的激光评价装置具有：使激光的一部分向受光部偏向的镜单元；对在镜单元偏向了的激光进行整形使得该激光的辐射角分布被变换成位置分布的fθ透镜；使在fθ透镜进行了整形的激光的行进方向变化的物镜；将通过了物镜的激光减光的减光滤光器；和将通过了减光滤光器的激光聚光到受光面的成像透镜。

根据该结构，能将激光的辐射角分布变换成受光面上的光强度分布，能简便地进行激光器振荡器与光纤之间的调芯。