[发明专利]用于控制或调节显微镜照明的方法

权利要求书

1.一种用于控制或调节显微镜(10)的光源(16)的方法，所述光源用于利用照明辐射将物体(12)照明，所述方法包括以下步骤：

确定物体(12)上的照明辐射的能量参数的额定值，

借助光源(16)产生照明辐射，

提供用于将照明辐射聚焦到物体(12)上的物镜(14)，

将物镜(14)前面的一定比例的照明辐射作为测量辐射耦合输出并测量测量辐射的能量参数的实际值，

确定物镜(14)对于照明辐射的透射特性，

提供测量辐射的能量参数与物体(12)上的照明辐射的能量参数之间的关系，所述关系依赖于物镜(14)透射特性和所述比例的大小，以及

以如下方式调整光源(16)，使得对于测量辐射测量的能量参数的实际值按照所述关系在公差范围内对应于物体(12)上的照明辐射的能量参数的额定值，

其中，所述显微镜(10)是反射光显微镜，并且所述反射光显微镜用于在宽视场中对物体(12)成像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，确定透射特性和/或测量实际值是以依赖于波长的方式进行的和/或所述关系是依赖于波长的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，为了对于所述关系顾及到物镜(14)的透射特性，确定过滤照明辐射的激发滤光器(33)和/或光源(16)的类型。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，测量辐射的能量参数的实际值在照明辐射的预定波长范围内测量，由在照明辐射的预定波长范围内测量到的测量辐射的能量参数的实际值，在顾及到激发滤光器(33)和/或光源(16)的类型的情况下，在整个波长范围内推断出关于物体(12)上的能量参数的当前值。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，对于所述关系，还对布置在物镜(14)与耦合输出位置之间的光学元件的透射特性和/或存在于物体(12)和物镜(14)之间的浸没介质的透射特性加以确定并顾及。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述测量辐射被引导通过监测光阑(44)，所述监测光阑(44)的开口被设定为使得其对应于物镜(14)的有效孔径。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，对测量辐射的能量参数的实际值连续监测，并且调节光源(16)。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，确定测量辐射的光斑的面积，并且在物镜(14)的有效孔径和/或所述面积方面对所述关系加以修正。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，生成物体(12)的电子图像，其中，曝光时间与测量实际值的曝光时间同步。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，在物镜(14)与耦合输出测量辐射的分束器装置(22)之间提供快门(38)，并且当实际值在公差范围内对应于额定值时，打开快门(38)。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，存储额定值的时间分布和/或从其导出的值的实际值的时间分布。