[发明专利]单平面照明显微镜

权利要求书

1.一种光片显微镜，包括：

用于经由照明光路利用光片照射样品(1)的照明光学单元，所述样品位于介质中的样品载体(2)上，其中所述样品载体(2)平行于平坦参考表面(3)，所述光片具有光片平面，所述光片平面与所述参考表面(3)的法线形成不为零的照明角度；

检测光学单元，所述检测光学单元具有带有光轴(5)的检测光路，所述光轴在所述样品载体(2)的区域中与所述参考表面(3)的法线形成不为零的检测角度；

分离层系统，所述分离层系统具有至少一个层，所述至少一个层由具有指定厚度的指定材料制成并将所述介质与所述照明光学单元和所述检测光学单元分离，其中所述分离层系统至少在能够进行检测和照明的区域中通过与参考表面(3)平行的基面与所述介质接触；

至少一个校正元件，所述至少一个校正元件位于所述照明光路和/或所述检测光路中以用于减少由于待检测的光和/或用于照射所述样品(1)的光倾斜通过所述分离层系统的界面而发生的像差，其特征在于，

所述光片显微镜包括下述装置：所述装置独立于光片生成，用于在所述光片平面中的点状区域中或在至少暂时包括所述光片平面的指定的空间中，通过至少一个操纵光路将光强度施加在所述样品(1)上。

2.根据权利要求1所述的光片显微镜，其特征在于，所述照明光学单元包括照明物镜(O1)，并且所述检测光学单元包括检测物镜(O2)。

3.根据权利要求2所述的光片显微镜，其特征在于，所述照明物镜(O1)与所述检测物镜(O2)相同。

4.根据权利要求2所述的光片显微镜，进一步包括操纵装置，所述操纵装置包括在所述操纵光路中的操纵物镜(O3)。

5.根据权利要求4所述的光片显微镜，其特征在于，所述操纵物镜(O3)与所述照明物镜(O1)或所述检测物镜(O2)相同。

6.根据权利要求4所述的光片显微镜，其特征在于，所述操纵装置包括点扫描器或多点扫描器，所述点扫描器用于将光强度以时间顺序的方式施加在所述样品(1)的各个单独的点状区域上，所述多点扫描器用于将光强度以时间顺序的方式施加在所述样品(1)的多个点状区域上，其中相应数量的所述点状区域能够同时被施加光强度。

7.根据权利要求4所述的光片显微镜，其特征在于，所述操纵装置包括第一空间光调制器(23)，所述第一空间光调制器用于将指定的强度分布施加在所述样品上。

8.根据权利要求7所述的光片显微镜，其特征在于，所述操纵装置包括第二空间光调制器，所述第二空间光调制器用于将指定的幅值分布施加到所述指定的强度分布。

9.根据权利要求7所述的光片显微镜，其特征在于，所述操纵装置包括数字微镜阵列(27)，所述数字微镜阵列用于在一平面中产生指定的强度分布。

10.根据权利要求9所述的光片显微镜，包括切换装置，所述切换装置用于在所述第一空间光调制器(23)、所述数字微镜阵列、或两者的组合之间进行切换。

11.根据权利要求7所述的光片显微镜，其中，所述操纵物镜(O3)与所述检测物镜(O2)相同，其特征在于，所述第一空间光调制器的第一区域(29)被实施用于将指定的强度分布或幅值分布施加在所述样品上并用作校正元件，并且所述第一空间光调制器(23)的第二区域(30)专门被实施为所述检测光路中的校正元件，其中偏转装置被设置以用于将待检测光转向到所述第二区域(30)上以及将用于操纵的光转向到所述第一区域(29)上。

12.根据权利要求11所述的光片显微镜，其特征在于，所述偏转装置包括二向色元件(31)，所述二向色元件具有有源光学表面，所述有源光学表面被布置成相对于彼此平行，其中所述光路被引导以使得用于操纵的和待检测的光在每种情况下被两次引导到二向色元件(31)上，并且到相应区域上的偏转通过所述二向色元件(31)的厚度来实现。