[发明专利]玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其包含如下工序：在将玻璃基板以平放姿势沿搬运方向搬运，使得该玻璃基板通过在对置配置的上部构成体与下部构成体的相互之间形成的处理空间的同时，使用处理气体对所述玻璃基板的下表面实施蚀刻处理，其中，从设置于所述下部构成体的供气口向所述处理空间供给所述处理气体，并且，通过分别设置于所述下部构成体中的所述搬运方向的上游侧端部及下游侧端部的排气口从所述处理空间排出所述处理气体，

所述玻璃基板的制造方法的特征在于，

所述供气口的数量为1个以上，

在所述供气口的数量为1个的情况下，所述下游侧端部的排气口与所述供气口的沿着所述搬运方向的相互间距离比所述上游侧端部的排气口与所述供气口的沿着所述搬运方向的相互间距离长，

在沿着所述搬运方向配置的所述供气口的数量为多个的情况下，所述下游侧端部的排气口与最下游侧的所述供气口的沿着所述搬运方向的相互间距离比所述上游侧端部的排气口与最上游侧的所述供气口的沿着所述搬运方向的相互间距离长。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

将所述供气口形成为在所述玻璃基板的与所述搬运方向正交的宽度方向上呈长条的狭缝状。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在多个所述供气口中，最下游侧的所述供气口供给的所述处理气体的流量最多。