[发明专利]涡轮泵排气组件和方法

说明书

公开一种涡轮泵排气组件和方法。所述涡轮泵排气组件包括：可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及可操作成将次级体积的空气输送到所述涡轮泵的次级手动致动器，其中所述次级体积的空气大于所述初始体积的空气。以此方式，提供不复杂且可靠的排气部，其可以输送初始体积的空气以最初使所述涡轮泵减速。此后，可以输送所述次级体积的空气以比仅使用另外的初始体积的空气可能的情况更迅速地使所述涡轮泵减速。具有可以输送不同体积的空气的设备使得所述涡轮泵能够比通过仅输送相同大小体积的空气可能的情况安全且更快速地减速。

技术领域

本发明涉及一种涡轮泵排气组件和方法。

背景技术

在半导体制造步骤中在高真空处理腔室中实施的处理（例如干式蚀刻、化学气相沉积(CVD)等等）中，使用真空泵（例如涡轮分子泵）来通过从处理腔室排出气体而在处理腔室中产生高真空，如例如在日本未审查专利申请公开号2000-291586中所示。

发明内容

根据第一方面，提供一种涡轮泵排气组件，其包括：可操作成将初始体积的空气输送到涡轮泵的初级手动致动器；以及可操作成将次级体积的空气输送到涡轮泵的次级手动致动器，其中次级体积的空气大于初始体积的空气。第一方面认识到，使用涡轮泵的限制因素是形成和破坏真空所花费的时间。破坏由涡轮泵形成的真空的一个限制因素是使涡轮泵的转子减速所花费的时间。虽然存在通过破坏来使转子减速的布置结构，但是这些布置结构复杂，并且可能不可靠或者在其它方面有问题。较不复杂的方法涉及通过从泵的环境侧将空气引入到泵的真空侧来使涡轮泵排气。然而，第一方面还认识到，使用常规手动排气阀的严苛排气可能在主轴承或轴承罩中导致高应力和磨损，并且在常规固定轴承和磁悬浮涡轮泵中导致转子不稳定性。这样的排气可能减少涡轮泵的操作寿命，或者在更严重的情况下，由于应急轴承寿命到期或转子/定子部件碰损，可能导致涡轮泵卡住。

因此，可以提供用于涡轮泵的排气部。所述排气部可以包括初级、第一或初始致动器。所述致动器可以是手动或者用户激活或操作的。所述致动器可以将初级、第一或初始体积、量或数量的空气或其它气体输送或提供到涡轮泵。所述排气部还可以包括次级或另外的致动器。所述次级致动器可以是手动或者用户激活或操作的，以将第二或另外的体积或量的空气或其它气体输送或提供到涡轮泵。第二体积的空气可以大于或多于初始体积的空气的量。以此方式，提供不复杂且可靠的排气部，其可以输送初始体积的空气以最初使所述涡轮泵减速。此后，可以输送所述次级体积的空气以比仅使用另外的初始体积的空气可能的情况更迅速地使所述涡轮泵减速。具有可以输送不同体积的空气的设备使得所述涡轮泵能够比通过仅输送相同大小体积的空气可能的情况安全且更快速地减速。

在一个实施例中，初始体积的空气小于次级体积的空气。因此，初始体积的空气可以小于次级体积的空气，或者不像次级体积的空气那样大。

在一个实施例中，初级手动致动器具有其中初始体积的空气被输送到涡轮泵的排气位置和其中防止初始体积的空气输送到涡轮泵的分离位置。因此，初级致动器可以具有其中初始体积的空气被输送或提供到涡轮泵的排气或打开位置。初级致动器可以具有其中防止或阻止初始体积的空气输送到涡轮泵的分离或关闭位置。因此，单独阵的初始体积的空气可以被输送到涡轮泵。

在一个实施例中，初级手动致动器可在排气位置与分离位置之间手动配置。因此，致动器可以在排气位置与分离位置之间由用户操作。

在一个实施例中，初级手动致动器朝向分离位置偏置。因此，致动器可以预先安置到分离位置。

在一个实施例中，初级手动致动器可以可释放地配置到排气位置。因此，所述致动器可以由用户操作到排气位置，但是然后，在释放时，可以返回到分离位置。