[发明专利]蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法、及有机EL显示器的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模的制造方法，其是在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模的一面上层叠具有金属掩模开口部的金属掩模而成的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：

准备在树脂板的一面上层叠有所述金属掩模的带金属掩模的树脂板的工序；以及

通过所述带金属掩模的树脂板的金属掩模开口部照射激光，从而在所述树脂板形成多个树脂掩模开口部的工序，

在形成所述树脂掩模开口部的工序中，

所述多个树脂掩模开口部中的任1个树脂掩模开口部在所述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成该1个树脂掩模开口部的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模开口部。

2.一种蒸镀掩模的制造方法，其是在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模的一面上层叠具有金属掩模开口部的金属掩模而成的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：

准备在树脂板的一面上层叠有所述金属掩模的带金属掩模的树脂板的工序；以及

通过所述带金属掩模的树脂板的金属掩模开口部照射激光，从而在所述树脂板形成多个树脂掩模开口部的工序，

在形成所述树脂掩模开口部的工序中，

在所述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成所述多个树脂掩模开口部中的1个树脂掩模开口部的内壁面的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成另1个树脂掩模开口部的内壁面的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模。

3.根据权利要求2所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，

在形成所述树脂掩模开口部的工序中，

在所述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成所述1个树脂掩模开口部的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模。

4.一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模具有与蒸镀制作的图案对应的开口部，该制造方法包括：

准备树脂板的工序；以及

照射激光，从而在所述树脂板形成多个开口部的工序，

在形成开所述口部的工序中，

在将所述蒸镀掩模的面中位于蒸镀源侧的一面作为蒸镀掩模的一面时，

所述多个开口部中的任1个开口部在所述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成该1个开口部的一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个开口部的另一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。

5.一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模具有与蒸镀制作的图案对应的开口部，该制造方法包括：

准备树脂板的工序；以及

照射激光，从而在所述树脂板形成多个开口部的工序。

在形成所述开口部的工序中，

在将所述蒸镀掩模的面中位于蒸镀源侧的一面作为蒸镀掩模的一面时，

在所述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成所述多个开口部中的1个开口部的内壁面的一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成另1个开口部的内壁面的一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。

6.根据权利要求5所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，

在形成所述树脂掩模开口部的工序中，

在所述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成所述1个开口部的一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个开口部的另一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。

7.一种有机半导体元件的制造方法，该方法包括：

使用蒸镀掩模在蒸镀对象物上形成蒸镀图案的蒸镀图案形成工序，

所述蒸镀图案形成工序中使用的所述蒸镀掩模是通过所述权利要求1～6中任一项所述的蒸镀掩模的制造方法制造的蒸镀掩模。

8.一种有机EL显示器的制造方法，其中，

使用了利用权利要求8所述的有机半导体元件的制造方法制造的有机半导体元件。